李野
- 作品数:13 被引量:61H指数:4
- 供职机构:长春光学精密机械学院更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 高纵横比微孔列阵的干刻工艺被引量:2
- 1998年
- 本文简述了干法刻蚀的现状和Multiplex - ICP 的结构原理, 给出了高纵横比微孔列阵的初刻实验结果,
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- 关键词:选择比刻蚀微机械
- AT-MCP微孔列阵基体形成的实验研究
- 了AT-MCP微孔列阵基体形成的工艺实验,给出了采用Multiplex-ICP进行干法刻蚀的初步结果,指出了一些有待深入探索的新现象。
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- 关键词:干法刻蚀长径比
- 金薄膜UV透过特性对MCP电子增益测量影响的研究被引量:1
- 2002年
- 介绍了微通道板的电子增益及其测量的UV光电法 ,并着重分析了UV光透过Au薄膜引起的附加输出 (或附加增益 )对测试结果的影响 ,给出了减小的途径 。
- 李野但唐仁高延军程轶姜得龙田景全
- 关键词:微通道板金薄膜MCP
- 微孔深通道列阵的关键技术及其应用
- 介绍了国内外关于微孔深通道列阵的研究工作进展,给出了初步实验结果,指出了传统工艺中从未遇到的新现象和新问题,提出了解决问题的初步设想,最后展望了微孔深通道绝缘基体的应用前景.
- 田景全但唐仁李野富丽晨姜德龙卢耀华端木庆铎
- 关键词:感应耦合等离子体微加工技术
- 文献传递
- 低强度X射线影像仪的新发展被引量:8
- 1999年
- 扼要介绍国内外Lixiscope 的概况。提出在国产系统中在X射线源前加置X射线准直器,X 射线影像增强器采用纤维光学输出窗和小孔径大面积微通道板,可以改普像质、扩大视场。
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- 关键词:X射线影像增强器准直器微通道板
- 微通道板非晶态Al_2O_3电子透射膜被引量:23
- 1996年
- 文中介绍了MCP非晶态Al2O3电子透射膜在成像器件中的作用,阐述了膜层的选择、形成条件与方法,给出了膜层形成及其与辉光气体放电的关系,测量了膜层及带膜MCP的某些特性,并进行了初步分析和讨论.
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- 关键词:微通道板电子透射膜离子反馈象增强器
- 硅微通道板电子倍增器被引量:18
- 2001年
- 本文采用感应耦合等离子体刻蚀机 (ICP)和低压化学气相淀积 (LPCVD)技术制备了硅微孔列阵和连续打拿极 ,得到具有一定性能的硅微通道板 .同时分析讨论了微孔列阵的表面形貌、反应离子刻蚀的尺寸效应以及电子增益系数等问题 .与传统工艺相比 ,新工艺将微通道板基体材料与打拿极材料的选择分开、微孔列阵形成和连续打拿极制作过程分开 。
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- 关键词:硅微通道板电子倍增器
- 二维电子倍增器及其新发展被引量:12
- 1999年
- 概述了二维电子倍增器RLSG-MCP的发展概况和工艺的局限性,提出了用半导体工艺制作AT-MCP的技术途径,阐述了AT-MCP的优点;介绍了新型MSP电子倍增器的原理和特点,最后展望了电子倍增器的发展前景.
- 端木庆铎田景全姜会林姜德龙李野卢耀华富丽晨
- 关键词:电子倍增器微通道板微球板
- 在多孔基底上形成免污离子壁垒超薄膜技术的新途径
- 2000年
- 文中介绍了在多孔基底MCP输入面上制作免污离子壁垒膜层的新工艺的基本原理和方法 ,给出了膜层成分分析和带膜MCP特性测试结果 ,并初步讨论了电子通过与膜厚的关系。
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- 关键词:离子壁垒超薄膜微通道板像增强器
- 近紫外面发射体—金属薄膜的研究
- 2000年
- 文中介绍了金属Al和Au薄膜光电阴极的光电发射特性和暴露大气后的稳定情况 ,给出了实验结果 。
- 卢耀华李野姜德龙孙秀平
- 关键词:光电发射