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杜成孝

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇自组装
  • 3篇光刻
  • 2篇平整
  • 2篇外延片
  • 2篇小球
  • 2篇晶体
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光刻版
  • 2篇光子
  • 2篇光子晶体
  • 2篇二极管
  • 2篇发光
  • 2篇发光二极管
  • 2篇衬底
  • 1篇氮化镓
  • 1篇氮化镓基发光...
  • 1篇旋涂
  • 1篇植入
  • 1篇上铺
  • 1篇显影

机构

  • 5篇中国科学院

作者

  • 5篇李晋闽
  • 5篇杜成孝
  • 5篇王军喜
  • 5篇魏同波
  • 4篇吴奎
  • 3篇郑海洋
  • 2篇严清峰
  • 2篇董鹏
  • 2篇张逸韵

年份

  • 2篇2014
  • 3篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法
本发明公开了一种利用自组装小球在透明衬底上制作用于光刻版的金属网格模板的方法，包括如下步骤：选择表面平整的透明材料作为透明衬底；在透明衬底上铺上单层自组装密排小球；将单层自组装密排小球刻蚀拉开，形成非密排小球；在非密排小...
杜成孝董鹏郑海洋魏同波严清峰吴奎张逸韵王军喜李晋闽
植入空气隙光子晶体的氮化镓基发光二极管的制备方法
本发明公开了一种植入空气隙光子晶体的氮化镓基发光二极管的制备方法，其包括：在n-GaN模板上铺单层自组装密排小球；将单层自组装密排小球缩小，形成单层非密排小球；在铺有所述单层非密排小球的n-GaN模板上蒸镀掩蔽层，其中在...
杜成孝郑海洋魏同波王军喜李晋闽
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利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法
本发明公开了一种利用自组装小球在透明衬底上制作用于光刻版的金属网格模板的方法，包括如下步骤：选择表面平整的透明材料作为透明衬底；在透明衬底上铺上单层自组装密排小球；将单层自组装密排小球刻蚀拉开，形成非密排小球；在非密排小...
杜成孝董鹏郑海洋魏同波严清峰吴奎张逸韵王军喜李晋闽
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一种带有大面积纳米图形的蓝宝石模板制作方法
本发明公开了一种带有纳米图形的蓝宝石模板制作方法，包括：选择蓝宝石衬底模板；在所述蓝宝石衬底模板上旋涂光刻胶，并在所述光刻胶上铺单层密排自组装纳米球；对单层密排自组装纳米球进行曝光，然后去除单层密排自组装纳米球并显影，最...
杜成孝魏同波吴奎王军喜李晋闽
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一种具有六棱锥形p型氮化镓的发光二极管制备方法
本发明公开了一种具有六棱锥形p型氮化镓的发光二极管制备方法，其包括如下步骤：在发光二级管外延片上沉积掩蔽层；在所沉积掩蔽层上旋涂上光刻胶，并在光刻胶上铺单层密排自组装小球；进行曝光，去除所述单层密排自组装小球；进行显影获...
杜成孝魏同波吴奎王军喜李晋闽
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