杨拥军
- 作品数：4 被引量：15H指数：2
- 供职机构：东南大学更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信航空宇航科学技术交通运输工程更多>>
- 一种新型的微机械电子隧穿加速度计被引量：8
- 2000年
- 介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计 .利用体硅微机械加工工艺和硅 /玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计 .为了有效减小低频噪声 ,在反馈回路里加入了振荡器和解调器 .测试结果表明 ,目前样品的分辨率约为 1 0 -6 gHz ,抗冲击能力达到 5 0g .
- 杨拥军李立杰徐永青赵彦军梁春广魏同立
- 关键词：加速度计电子隧穿微机械反馈回路振荡器解调器
- 硅微机械电子隧穿红外探测器被引量：5
- 2000年
- 介绍了一种新型的非制冷高灵敏度硅微机械电子隧穿红外探测器的工作原理 ,详细描述了这种红外探测器的设计思想和制作工艺 ,采用微机械体硅加工的三层硅结构制作出探测器原理样品 ,通过和反馈电路 (包括前置放大电路 )连接测试表明 :电子隧穿位移传感器部分的分辨率可达 10 -4 nm/ Hz,红外探测器样品已能敏感红外信号。
- 杨拥军魏同立李立杰徐永青赵彦军梁春广
- 关键词：微机械隧穿红外探测器硅
- 硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的研究被引量：1
- 2000年
- 本文详细介绍了一种利用微电子加工工艺制作的硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的新结构 ,分析了该种陀螺仪的工作原理 ,推导了陀螺仪动力学方程 ,并讨论了梳状谐振器的工作机理和陀螺仪模拟力反馈的闭环控制方案 ;
- 苏岩王寿荣裘安萍周百令周百令李立杰
- 体硅微机械加工技术与新型微机械加速度传感器研究
- 本论文主要有三个方面的研究内容：一是体硅微机械关键加工技术研究;二是微机械电子隧穿加速度传感器研究;三是微机械热对流加速度传感器研究。
本论文首先阐述了微电子机械系统(MEMS)和微机械加工技术的概况和发展趋势...
- 杨拥军
- 关键词：加速度传感器散粒噪声
- 文献传递
