王忠良
- 作品数：3 被引量：11H指数：1
- 供职机构：贵州大学理学院电子科学系更多>>
- 发文基金：贵州省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- AlN薄膜有源SAW滤波器集成及性能研究被引量：1
- 2007年
- 在AlN压电薄膜上(以SiO2/Si为衬底),使用MOS集成电路工艺制作叉指电极和单元电路,制成中心频率为320MHz的有源SAW滤波器并进行了测试。结果表明,该滤波器的插入损耗低于10dB,带外衰减高于45dB。
- 刘桥王代强冯杰王忠良
- 关键词：电子技术叉指换能器
- A1N薄膜声表面波材料特性及其集成工艺的研究
- AlN由于具有优异的压电特性和高的声表面波波速，其制作过程与IC工艺兼容，因而已成为高频声表面波器件的首选材料。本论文围绕GHz声表面波器件的研制，开展了反应磁控溅射法在P型Si(111)衬底上沉积AlN压电薄膜的研究，...
- 王忠良
- 关键词：反应磁控溅射声表面波器件滤波器
- 文献传递
- 衬底温度对反应磁控溅射制备AlN压电薄膜的影响被引量：10
- 2005年
- 采用反应磁控溅射法在Si(111)衬底上沉积了AlN薄膜。XRD分析表明,在5种温度下,AlN均以(100)面取向,衬底温度的提高有利于薄膜结晶性的改善,在600℃以上时AlN中Al—N0键断裂,仅出现(100)衍射峰。AFM分析显示,在600℃时平均晶粒尺寸90nm,Z轴最高突起仅为23nm。
- 王忠良刘桥
- 关键词：无机非金属材料反应磁控溅射
