邓泽方
- 作品数：5 被引量：4H指数：1
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程更多>>
- 一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法
- 一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法，将用于制备微透镜阵列的玻璃棒置于飞秒加工平台上；根据加工所需，控制飞秒加工平台的移动，同时控制单点的辐照，在玻璃棒表面烧蚀出所需的弹坑阵列；将带有烧蚀弹坑的玻璃棒置于氢氟酸稀释溶液中，...
- 陈烽杨青邓泽方刘贺炜边浩杜广庆司金海侯洵
- 文献传递
- 飞秒激光湿法刻蚀微纳制造被引量：4
- 2014年
- 飞秒激光微加工作为一种新型微纳制造技术,在复杂三维构型制作方面具有其独特的优势,但激光加工效率问题严重制约了飞秒激光微加工技术走向实际工程应用,提出一种飞秒激光湿法刻蚀微纳制造方法,以提高飞秒激光微加工的效率为突破口,通过调控激光与物质相互作用获得材料的目标靶向改性,进而结合化学湿法刻蚀实现硬质材料上的高效和高精度三维微加工,采用这一方法制作出的微透镜尺寸为80μm,球冠高6.7μm,表面粗糙度小于10nm。利用这种方法,实现了不同结构与特性的高质量微透镜阵列的超精密制备,在石英内部也实现了螺旋微通道的复杂三维结构,螺旋通道直径为20μm,长径比超过100。
- 陈烽杨青边浩杜广庆柳克银孟祥卫邓泽方山超
- 关键词：飞秒激光湿法刻蚀微透镜微通道
- 毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具的深加工方法及系统
- 本发明涉及毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具的深加工方法及系统，首先利用飞秒激光直写的方式在金刚石刀具刃口产生一个微米级的凹槽，并且通过精确控制三维平移台与旋转轴的移动，在圆形状的环形金刚石刀具上得到周期性的微小凹槽。本方...
- 陈烽杨青邓泽方
- 文献传递
- 一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法
- 一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法，将用于制备微透镜阵列的玻璃棒置于飞秒加工平台上；根据加工所需，控制飞秒加工平台的移动，同时控制单点的辐照，在玻璃棒表面烧蚀出所需的弹坑阵列；将带有烧蚀弹坑的玻璃棒置于氢氟酸稀释溶液中，...
- 陈烽杨青邓泽方刘贺炜边浩杜广庆司金海侯洵
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- 毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具的深加工方法及系统
- 本发明涉及毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具的深加工方法及系统，首先利用飞秒激光直写的方式在金刚石刀具刃口产生一个微米级的凹槽，并且通过精确控制三维平移台与旋转轴的移动，在圆形状的环形金刚石刀具上得到周期性的微小凹槽。本方...
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