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邵丽影
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南开大学
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相关领域:
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吴敏
南开大学
徐谨民
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王永泰
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重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体载流子浓度的光测法研究
1989年
本文应用计算机,绘出各类重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体在不同等离子频率ω_p下的反射率曲线,从中找出了反射谱的高低频反射边在反射率极小值处所对应的频率ω_1与ω_2之和与ω_p间的函数关系.并应用此关系对不同载流子浓度的重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体GaAs和Inp样品进行实验上的验证,获得了满意的结果.
徐谨民
邵丽影
吴敏
关键词:
半导体
载流子
重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体载流子浓度的光测法研究
目前对重掺半导体载流子浓度的光学测量,有的采用反射谱高频反射边反射率R极小值对应的频率ω代替等离子体频率ω,应用标样进行曲线校正的办法[1-3],有的是对反射谱进行数据处理,求出ω的办法[4]。前者虽然方法简便,但对重掺...
徐谨民
邵丽影
王永泰
吴敏
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