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邵楠

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：云南师范大学数学学院数学系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧化硅
  • 1篇杂质浓度分布
  • 1篇数学模型
  • 1篇扩散
  • 1篇二氧化硅
  • 1篇硅

机构

  • 1篇云南师范大学

作者

  • 1篇邵楠

传媒

  • 1篇云南师范大学...

年份

  • 1篇1996
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
通过二氧化硅层扩散到硅中的杂质浓度分布被引量：1
1996年
本文建立了通过二氧化硅层扩散到硅中的杂质浓度分布的数学模型。并通过对模型所归结的两个偏微分方程定解问题的求解，得到了在这种情况下杂质浓度分布规律的解析表达式。
邵楠
关键词：二氧化硅数学模型扩散硅
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共1页<1>
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