孟然
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
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- 一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统
- 本发明是一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统。包括有氮气气源供给系统(1)、若干个有机金属气源进出管路系统(2)、分别与若干个有机金属气源进出管路系统(2)连接的若干个流量控制系统(3)、压力控制系统(4)，本发明由于采用...
- 陈俊芳李炜孟然王辉郭超峰
- 文献传递
- 在硅衬底上实现氮化镓薄膜低温沉积的方法
- 本发明是一种在硅衬底上实现氮化镓薄膜低温沉积的方法。包括有如下步骤：1)对ECR等离子体空间分布进行诊断；2)对ECR等离子体的基团进行发射光谱分析；3)在硅衬底上先沉积一层TiN过渡层；4)在硅衬底上制备掺杂渐变结构的...
- 陈俊芳李炜孟然薛永奇王燕
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- 一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统
- 本发明是一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统。包括有氮气气源供给系统(1)、若干个有机金属气源进出管路系统(2)、分别与若干个有机金属气源进出管路系统(2)连接的若干个流量控制系统(3)、压力控制系统(4)，本发明由于采用...
- 陈俊芳李炜孟然王辉郭超峰
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- 感应耦合等离子体增强化学气相沉积法制备多晶硅薄膜
- 在石油、天然气等传统能源价格不断上涨的今天，可再生能源--太阳能的研究已经成为全世界科研组织研究的重点。并且，随着对第三代薄膜太阳能电池研究的深入，为了提高多晶硅、微晶硅薄膜太阳能电池的光电转换效率，并使得太阳能电池走进...
- 孟然
- 关键词：多晶硅薄膜
- 文献传递
- ICP等离子体鞘层附近区域发光光谱特性分析被引量：1
- 2009年
- 为了独立控制鞘层附近区域离子密度和离子能量分布,采用光发射谱(OES)测量技术,对不同射频功率、放电气压和基底偏压下感应耦合等离子体鞘层附近区域辉光特性进行了研究。原子谱线和离子谱线特性分析表明,在鞘层附近区域感应耦合等离子体具有较高的离子密度和较低的电子温度。改变放电气压和射频功率,对得到的光谱特性分析表明,鞘层附近区域离子密度随射频功率的增大而线性增大,在低压下随气压的升高而增大。低激发电位原子谱线强度增加迅速,高激发电位原子谱线强度增加缓慢,而离子谱线强度增加很不明显。改变基底直流偏压,对得到的发射光谱强度变化分析表明,谱线强度随基底正偏压的增加而增大。随着基底负偏压的加入,谱线强度先减小而后增大;直流偏压为-30V时,光谱强度最弱。快速离子和电子是引起Ar激发和电离过程的主要能量来源。
- 赵文锋陈俊芳孟然
- 关键词：发射光谱感应耦合等离子体
- 微晶硅薄膜在粗糙表面的大面积均匀生长机制在
- 2010年
- 用氩气稀释硅烷作为反应气体，利用感应耦合等离子体在廉价衬底上大面积均匀沉积微晶硅薄膜．X射线衍射和拉曼分析表明衬底能显著地影响晶向，且微晶砗薄膜由小晶粒组成．台阶仪测试表明，微晶硅薄膜具有大范围均匀的特点．探针分析表明衬底附近区域的离子密度及电子温度分布均匀．基于以上结果可知：粗糙表面在晶体结构形成具有重要的作用，电感耦合等离子体反应器可以大面积均匀沉积薄膜．此外，氩气能影响反应过程并提高微晶硅薄膜特性．
- 赵文锋陈俊芳王燕孟然赵益冉邵士运李继宇张宇
- 关键词：微晶硅薄膜电感耦合等离子体
