张鲲
- 作品数：29 被引量：49H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>
- 自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化
- 2007年
- 利用硅微机电系统(MEMS)技术,设计并制作了点状、蛇形和点蛇混合三种微型氢/空气质子交换膜燃料电池(μPEMFC)阳极流场板,测定了三种不同阳极结构电池的极化和功率密度曲线、交流阻抗图及燃料利用率。结果表明,采用混合流场能有效协调燃料利用和电池接触电阻的矛盾,其极限功率密度比点状和蛇形流场分别提高了12.8%和45.7%;在100～500 mA恒电流放电下,采用混合流场比点状和蛇形流场可节省燃料平均达14.3%和25.1%。
- 郑丹倪卫其姜伟张熙贵张鲲夏保佳
- 关键词：微型质子交换膜燃料电池硅微机械MEMS技术
- 高性能微机械高冲击加速度传感器技术研究(中科院)
- 李昕欣王跃林张鲲熊斌陆德仁罗乐
- 该成果是通过技术发明研制微机械高冲击加速度传感器技术。根据国家重要工程和汽车工业等应用对该核心器件的大量需求，通过科技创新，研发了拥有系列专利技术的传感器。作为课题重要组成部分，得到863项目支持并验收通过。传感器芯片尺...
- 关键词：
- 关键词：微电子机械系统微机械传感器
- 微机械加速度计器件的圆片级封装工艺
- 本发明涉及一种微机械加速度计圆片级封装工艺，其特征在于，采用粘接键合和深反应离子刻蚀微机械体加工工艺技术相结合，所述的圆片级封装工艺步骤是：使用各向异性腐蚀溶剂氢氧化钾双面同时腐蚀出保护腔体和未穿通的引线通孔；使用干刻蚀...
- 张鲲李昕欣杨恒王跃林罗乐
- 文献传递
- 微机械加速度计器件的圆片级封装工艺
- 张鲲王跃林李昕欣杨恒
- 本发明涉及一种微机械加速度计圆片级封装工艺，其特征在于，采用粘接键合和深反应离子刻蚀微机械体加工工艺技术相结合，所述的圆片级封装工艺步骤是：使用各向异性腐蚀溶剂氢氧化钾双面同时腐蚀出保护腔体和未穿通的引线通孔；使用干刻蚀...
- 关键词：
- 关键词：微机械加速度计封装工艺圆片级封装
- 三维集成微机械加速度传感器及制作方法
- 本发明涉及一种三维集成的高量程加速度传感器。其特征在于所述的三维加速度传感器是由三个相互独立的加速度传感元件集成一体构成的；X、Y轴方向的加速度传感元件的结构相同，其敏感方向在硅平面方向，两个相同结构的传感元件相互垂直排...
- 李昕欣张鲲王跃林
- 文献传递
- 单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试被引量：9
- 2007年
- 设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴单元采用三梁-双岛结构.与传统的单悬臂梁结构或者悬臂梁-质量块结构相比,这两种结构均同时具有高灵敏度和高谐振频率的优点.采用ANSYS软件进行了结构分析和优化设计.中间结构层主要制作工艺包括压阻集成工艺和双面DeepICP刻蚀,并与玻璃衬底阳极键合和上层盖板BCB键合形成可以塑封的三层结构,从而提高加速度计的可靠性.封装以后的加速度计采用落杆方法进行测试,三轴灵敏度分别为2.28,2.36和2.52μV/g,谐振频率分别为309,302和156kHz.利用东菱冲击试验台,采用比较校准法测得y轴和z轴加速度计的非线性度分别为1.4%和1.8%.
- 董培涛李昕欣张鲲吴学忠李圣怡封松林
- 关键词：压阻塑封
- 高性能微机械高冲击加速度传感器技术研究
- 李昕欣王跃林张鲲熊斌陆德仁罗乐
- 该成果研发出了水平敏感的高冲击加速度传感器，发明了曲面贴合过载保护和动态阻尼控制微机械结构设计及制造技术，实现了比国际禁运产品更好的动态特性；研发出高灵敏度的悬臂梁侧壁压阻技术；研发出将静电驱动器和侧壁压阻敏感器集成于同...
- 关键词：
- 关键词：微电子机械系统微机械传感器
- 环境对自呼吸式MEMS微型H_2/空气质子交换膜燃料电池的影响
- 2009年
- 利用MEMS技术制备了一种自呼吸式微质子交换膜燃料电池(PEMFC),阳极采用点蛇混合结构,阴极采用双层镂空微流场结构,阴极靠近膜电极侧微孔尺寸从5～50m不等。鉴于自呼吸式电池的性能受环境的影响很大,本文着重研究了环境湿度和温度对电池性能的影响。结果表明阴极微孔尺寸为11m和15m的电池孔径适度,在环境20℃、30%-70%RH时两电池的极限电流密度(Jmax)和峰值功率密度(Pmax)均表现出较高值,性能良好;阴极微孔尺寸为11m的电池在空气维持50%RH下,温度由10℃升到40℃时Pmax逐渐增大,增幅达14.9%;若不维持空气湿度而改变温度,则温度由10℃升高到40℃时Pmax先增大后减小,20℃时达最大。
- 郑丹张熙贵张鲲姜伟夏保佳
- 关键词：微型质子交换膜燃料电池自然对流MEMS技术
- 一种新结构硅微机械压阻加速度计被引量：13
- 2005年
- 设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计。器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形。比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍。加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。
- 陈雪萌李昕欣宋朝晖王跃林黄晖黄树森张鲲
- 关键词：微机械加速度计压阻深反应离子刻蚀
- 基于(111)单晶硅片的高谐振频率高冲击加速度计及制作方法
- 本发明提供一种基于（111）单晶硅片的高谐振频率高冲击加速度计及制作方法，所述加速度计包括（111）单晶硅基底和集成于单晶硅基底一面的固支板、微梁与力敏电阻。该单晶硅基底上所有功能部件均位于所述单晶硅基底的一面，所述单晶...
- 李昕欣邹宏硕王家畴张鲲
- 文献传递
