杨生荣
- 作品数：4 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 晶圆减薄机弹性铰链的加工工艺研究被引量：1
- 2013年
- 介绍了一种减薄机关键零件弹性铰链的零件性能及材料选择,分析了零件的加工工艺流程、工艺难点,制定了相应的工艺路线。最后对加工后的零件安装在设备上进行了工艺验证。该零件的成功应用为其他类似弹性铰链的设计加工可提供一定的借鉴作用。
- 张敏杰杨生荣王仲康
- 关键词：弹性铰链
- 张力调节系统在金刚石单线切割设备上的应用被引量：1
- 2010年
- 金刚石单线切割设备主要是针对碳化硅等其他硬脆材料的切割,在单线切割过程中,切割线张力的突然变化会导致切割质量下降,甚至断线,必须增加张力调节系统,介绍了国内外单线切割设备的张力调节系统。
- 衣忠波王仲康杨生荣
- 关键词：碳化硅
- 芯片背面磨削减薄技术研究被引量：7
- 2010年
- 通过实验数据和实物照片列出了减薄工艺参数、检测结果;并结合实例研究了现代磨削减薄系统多采用的硅片自旋转磨削技术,探讨脆性材料进行延性域磨削的加工机理。
- 王仲康杨生荣
- 关键词：亚表面损伤层
- 金刚石线恒张力闭环控制研究被引量：4
- 2013年
- 针对金刚石线切割机切割线高速往复运动下,要求张力稳定的特点,提出了一种切割线恒张力闭环控制方法。该方法通过建立张力系统数学模型,进行了切割线运行力矩分析、加减速变化和卷径变化、运行速度对张力的影响,并建立了函数关系,依据该关系式利用浮辊机构作为张力缓冲和反馈,通过张力反馈实时调整绕线轮伺服电机输出扭矩,解决了切割线高速运行下张力控制难题。
- 杨生荣张敏杰王仲康衣忠波王克江
- 关键词：闭环控制
