王凌
- 作品数：7 被引量：11H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术电气工程更多>>
- 一个基于直方图的纳米尺度线宽计算模型
- 2004年
- 用原子力显微镜 (AFM )来测量纳米线宽近几年发展迅速。针对AFM能对纳米线宽表面三维成像的特点 ,本文提出了一个直方图线宽计算模型 ,并通过实验数据同其他模型进行了比较。该线宽计算模型具有算法简单。
- 王凌赵学增褚巍肖增文王飞
- 关键词：直方图原子力显微镜AFM半导体
- 使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究被引量：4
- 2005年
- 针对NanoscopeIII型原子力显微镜,进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析。提出一个线宽测量的误差校正步骤,确定并分析了影响测量结果不确定度的4方面因素。根据实验和测量过程,分析和计算得到被测样品的线宽值、不确定度分量以及合成不确定度。
- 褚巍赵学增王凌肖增文李洪波
- 关键词：计量学测量不确定度原子力显微镜
- 一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法被引量：4
- 2004年
- 随着半导体技术的不断发展 ,半导体刻线临界尺寸不断降低 ,线边缘粗糙度对元件性能的影响越来越大。本文综合运用图像处理中的直方图图像描述、阈值化描述以及Sobel算子提取半导体刻线的边缘 ,并根据边缘计算了粗糙度。最后给出了一个样本的实际测量结果并加以分析 。
- 李洪波赵学增肖增文褚巍王凌
- 关键词：阈值化图像处理图像描述SOBEL算子直方图半导体技术
- 纳米尺度线宽测量技术的研究被引量：3
- 2004年
- 纳米尺度线宽的测量在半导体集成电路制造业、数据存储工业以及微机电系统等领域广泛应用。随着制造技术的进步,线宽的临界尺寸也变得越来越小,目前已经缩小至100 nm左右。在这一尺度范围内,由于样本制造技术的限制和测量仪器的影响,很难得到精确的测量结果。针对目前纳米尺度线宽测量的研究状况,分析了这一领域的主要研究内容和面临的问题。
- 褚巍赵学增肖增文王凌
- 关键词：线宽半导体集成电路测量技术微机电系统制造业
- 黑龙江地区输配电价格的研究
- 电力市场化改革打破了电力工业垄断的经营方式，传统的发电、输电、配电、供电统一的电力生产与服务被逐步分解，以实现市场竞争和充分选择。2002年底，国家电力监管委员会、两大电网公司、五大发电集团公司和四个辅业公司的相继成立，...
- 王凌
- 关键词：输配电价格电力市场监督管理
- 文献传递
- 基于词袋方法的图像检索系统的研究
- 基于内容的图像检索是多媒体信息检索领域的一项新兴技术。和传统的基于标注的图像检索方式相比，它具有客观，自动高效等优点，有着非常广阔的应用空间。目前，大多数基于内容的图像检索系统提取的是图像的全局特征。全局特征提取方法虽简...
- 王凌
- 关键词：图像检索系统特征提取查全率
- 文献传递
- 基于AFM的纳米线宽计算模型和测量不确定度的研究
- 在对目前国内外纳米线宽测量技术进行广泛研究的基础上,该文首先详细地给出了原子力显微镜的工作原理及其扫描成像的数学模型,介绍了VEECO公司NanoscopeⅢ型原子力显微镜的结构特性和技术特点.其次总结归纳了当前原子力显...
- 王凌
- 关键词：原子力显微镜不确定度
- 文献传递
