王明霞
- 作品数：33 被引量：19H指数：2
- 供职机构：天津大学理学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划天津市科技计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺化学工程更多>>
- 纳米多层膜的界面结构和超晶格调制对其高温稳定性和超硬效应的影响
- 李德军黄美东侯兴刚王立群王明霞刘明成曹猛亢原彬董磊等
- 利用磁控溅射和离子束辅助沉积技术合成了具有不同调制结构的ZrB2/AlN、ZrB2/ZrAlN、TiB2/TiAlN、ZrB2/W、ZrB2/WNx、TiB2/Si3N4、TiB2/BN等多种相互组合的纳米多层膜，从优化...
- 关键词：
- 关键词：纳米多层薄膜
- Ar/N2气体比例对TaN/NbN纳米多层膜机械性能的影响
- 采用射频磁控溅射系统,以 TaN 和 NbN 作为体材料,制备了一系列 TaN/NbN 纳米多层膜。通过 XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中 Ar/N气体比例对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明,纳米多层膜的硬...
- 张学华曹猛杨瑾刘桐王明霞李德军邓湘云
- 关键词：射频磁控溅射
- 文献传递
- ZrC/ZrB2纳米多层膜的微观结构与机械性能的研究
- 2007年
- 选择ZrC和ZrB2为个体层材料,利用射频磁控溅射系统在室温下制备具有纳米尺寸的ZrC/ZrB2多层膜.通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期与ZrC,ZrB2单层厚度比例(tZrC:tZrB2)对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明,多层膜的界面清晰,调制周期性好,大部分多层膜的纳米硬度和弹性模量值都高于两种个体材混合相的值,在调制比例tZrC:tZrB2=1:1.7、调制周期为32 nm时,薄膜显示出很强的ZrC(111)择优趋向和较弱的ZrB2(001)及ZrB2(002)结构,同时产生硬度异常升高的超硬效应,其硬度达到42 GPa.多层膜的机械性能改善明显与其调制结构和多晶结构有着直接的联系.
- 杨瑾张学华曹猛乔林王明霞邓湘云李德军
- 关键词：磁控溅射调制周期超硬
- Ar/N2气体比例对TaN/NbN纳米多层膜机械性能的影响
- 2007年
- 采用射频磁控溅射系统,以TaN和NbN作为体材料,制备了一系列TaN/NbN纳米多层膜.通过XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明,纳米多层膜的硬度值普遍高于两种个体材料混合相的值;当FAr:FN2=10时TaN的(110)峰加强,TaN的晶体结构以六方结构为主,NbN的晶体结构以面心立方结构为主,此时,多层膜体系的硬度、弹性模量以及膜基结合性能均达到最佳效果(最大硬度为30 GPa),摩擦磨损实验表明,Ar/N2比为10:1的TaN/NbN多层膜较其他Ar/N2比的多层膜耐磨性更好,不易发生破损,适合实际应用.
- 张学华曹猛杨瑾刘桐王明霞李德军邓湘云
- 关键词：射频磁控溅射
- 氩气氮气比例对TaN／NbN纳米多层膜结构与性能的影响
- 本研究采用射频磁控溅射系统,以TaN和NbN作为体材料,制备了一系列TaN／NbN纳米多层膜。通过XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中Ar／N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明,多层膜的纳米硬度值普遍...
- 张学华曹猛杨瑾刘桐王明霞李德军
- 关键词：射频磁控溅射
- 文献传递
- 调制周期对TaN/NbN纳米多层膜力学性能的影响被引量：1
- 2007年
- 本研究选择钽和铌的氮化物作为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统制备TaN、NbN及一系列的TaN/NbN多层薄膜。通过XRD和纳米力学测试系统以及摩擦磨损仪分析了该体系合成以后的晶体结构,以及调制周期对机械性能的影响。结果表明:多层膜的纳米硬度值普遍高于两种个体材料混合相的硬度值;当调制周期为8.5 nm时,TaN/NbN多层膜达到最大硬度30 GPa,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力、弹性模量以及膜-基结合性能均达到最佳效果。
- 张学华曹猛王明霞刘桐李德军
- 关键词：射频磁控溅射调制周期
- N_2分压对ZrN/WN纳米多层膜缺陷性质与力学性能的影响被引量：2
- 2007年
- 利用射频磁控溅射系统在不同N2分压的条件下,制备了一系列ZrN/WN纳米多层膜.借助慢正电子湮没技术分析了样品的缺陷性质,采用纳米压痕仪研究了多层膜的力学性能.结果发现:N2分压为0.4Pa的多层膜具有最小的空位型缺陷浓度,其中心层和膜基结合层的平均S参数分别为0.4402和0.4641,而较低或较高的N2分压都可能导致空位型缺陷浓度的增加.随着空位型缺陷浓度的减小,多层膜的硬度和临界载荷增大.对于空位型缺陷浓度最小的多层膜,其硬度和临界载荷达到最大值,分别为34.8GPa和100mN,说明较低的缺陷浓度有利于提高多层膜的力学性能.
- 王立群王明霞李德军杨瑾余大书宿杰
- 关键词：力学性能
- ZrN、WN的调制比例对ZrN／WN纳米多层膜结构与机械性能的影响
- 利用射频磁控溅射系统制备了调制周期A等于30 nm的一系列具有不同调制比例的 ZrN／WN纳米多层膜。X射线衍射仪、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究表明:ZrN／WN纳米多层膜的界面清晰,调制周期性良好;适当的ZrN和W...
- 杨瑾王明霞李德军
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- ZrN、WN的调制比例对ZrN/WN纳米多层膜结构与机械性能的影响
- 利用射频磁控溅射系统制备了调制周期Λ等于30nm的一系列具有不同调制比例的ZrN/WN纳米多层膜。X射线衍射仪、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究表明:ZrN/WN纳米多层膜的界面清晰,调制周期性良好;适当的ZrN和WN调...
- 杨瑾王明霞李德军
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- WTiN薄膜的合成及其结构和性能的研究
- 本文选择钨钛作为靶材,利用超高真空射频磁控溅射系统制备WTiN薄膜，通过XRD、表面轮廓仪和纳米力学测试系统分析了该体系合成中工作气压和Ar/N2气体比例对薄膜结构与机械性能的影响。研究结果表明：当FAr:FN2=3时,...
- 王明霞肖楠李德军
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
