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陆国辉
作品数:
6
被引量:3
H指数:1
供职机构:
上海市计量测试技术研究院
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相关领域:
机械工程
电子电信
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合作作者
丁听生
上海市计量测试技术研究院
盛克平
上海市计量测试技术研究院
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作者
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陆国辉
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盛克平
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丁听生
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年份
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2篇
2006
2篇
2004
1篇
2003
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6
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一种扫描电子显微镜像散的校正方法
本发明涉及显微镜像差校正的技术领域,尤其是涉及一种扫描电子显微镜像散的校正方法。它包括如下步骤:a.选取校正样品;b.将校正样品放置在扫描电子显微镜的样品台上;c.开启扫描电子显微镜;d.将扫描电子显微镜的放大倍率调整到...
盛克平
丁听生
陆国辉
文献传递
一种扫描电子显微镜标准物质及其制作方法
本发明涉及计量测试标准量值传递技术领域,尤其是涉及一种用于校准扫描电子显微镜放大倍率的标准物质及其制作方法。它的基板上镀有测量膜,测量膜上镀有导电层,测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵,a.选取单分散相聚...
盛克平
丁听生
陆国辉
文献传递
SEM及AFM校准放大倍率标样的研究
被引量:3
2003年
本文报告了用有证标准粒子研制成紧密排列的亚微米标准样品,并给出了研制成的标准样品的不确定度评估。将结果与国际先进的标准参考物质进行了分析比较。该亚微米标准粒子的紧密排列的标准样品在扫描电子显微镜和原子力显微镜放大倍率校准中有实际的应用价值。
盛克平
丁听生
陆国辉
关键词:
准粒子
标样
原子力显微镜
亚微米
SEM及AFM校准放大倍率标样的研究
本文报告了用有证标准粒子研制成紧密排列的亚微米标准样品,并给出了研制成的标准样品的不确定度评估。将结果与国际先进的标准参考物质进行了分析比较。该亚微米标准粒子的紧密排列的标准样品在扫描电子显微镜和原子力显微镜放大倍率校准...
盛克平
丁听生
陆国辉
关键词:
不确定度
文献传递
一种扫描电子显微镜像散的校正方法
本发明涉及一种扫描电子显微镜像散的校正方法。它包括如下步骤:a.选取校正样品,所述的校正样品为样品架上置有基板,基板上镀有测量膜,测量膜上镀有导电层,测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵;b.将校正样品放置...
盛克平
丁听生
陆国辉
文献传递
一种扫描电子显微镜标准物质及其制作方法
本发明涉及一种用于校准扫描电子显微镜放大倍率的标准物质及其制作方法。它的基板上镀有测量膜,测量膜上镀有导电层,测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵,样品架上置有基板。a.选取单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液、...
盛克平
丁听生
陆国辉
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