马超
- 作品数：8 被引量：14H指数：2
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- 螺旋波等离子体源放电诊断研究
- 螺旋波等离子体源可以在较宽范围的工作参数下产生高密度等离子体，因此在半导体工艺、薄膜制备、材料改性、航空等领域有着广泛的应用，被认为是最有前景的等离子体源之一，但是在螺旋波放电中rf能量耦合到等离子体的机制至今还不完全清...
- 马超
- 关键词：螺旋波等离子体源放电诊断
- 螺旋波等离子体源诊断及其特性
- 一个螺旋波等离子体源被用于等离子体性能的研究。我们使用了朗缪尔静电探针,OES和ICCD为诊断手段研究螺旋波的性质。通过对放电气压和功率,外加磁场的控制在不同模式下测量等离子体的密度及电子温度的变化来确保螺旋波放电模式。...
- 赵高马超宋相娟刘忠伟陈强
- 文献传递
- 一种计算光谱成像的空谱联合图像重建方法及系统
- 本发明提供一种计算光谱成像的空谱联合图像重建方法及系统，包括：根据CASSI系统获得目标对象的二维混叠图像；将二维混叠图像进行预处理，得到第一高光谱图像；对第一高光谱图像交替进行空间注意力机制和下采样处理，确定空间特征；...
- 廉玉生周晗马超王凯旋伍佳惠曹栩珩张婉
- 螺旋波等离子体发射光谱研究
- 2014年
- 为了解螺旋波等离子体的光学行为及特性,对螺旋波等离子体氩气放电进行了发射光谱(OES)测量,结果显示:谱线强度在模式转换时出现大幅增加。研究了不同气压下谱线强度随功率的变化关系,并采用发射光谱强度比值法对电子激发温度进行了计算,结果表明:在螺旋波放电阶段对应的电子激发温度随着功率增加呈下降趋势。
- 赵高马超刘忠伟陈强
- 关键词：光谱诊断电子激发温度
- 光谱图像的融合超分辨率方法、系统及电子设备
- 本发明提供了一种光谱图像的融合超分辨率方法、系统及电子设备，对初始低分辨率高光谱图像进行空间上采样，得到第一高分辨率高光谱图像；对初始高分辨率RGB图像依次进行空间下采样和空间上采样，得到第一高分辨率RGB图像；分别提取...
- 廉玉生曹栩珩伍佳慧周晗王彬呼香美王凯旋马超
- 短管螺旋波放电中等离子体参数测量和模式转化研究被引量：11
- 2014年
- 对长度为45 cm的短放电管螺旋波放电等离子体进行了Langmuir探针、原子发射光谱以及集成电荷耦合检测器(ICCD)检测诊断,研究螺旋波等离子体的放电特性.Langmuir探针数据显示电子密度在射频功率增加过程中出现两次大幅增长,由此确认了放电模式的转换及螺旋波放电模式的出现.发射光谱测量结果与Langmuir探针测量的电子密度数据一致,发现Ar原子和Ar离子的谱线强度与放电模式变化有着密切相关性.而通过对不同放电模式的ICCD测量,获得射频功率吸收因放电模式转变而变化的方式,认为放电模式转换时电子行为和能量传递方式也发生着变化.
- 赵高熊玉卿马超刘忠伟陈强
- 关键词：原子发射光谱
- 高光谱图像超分辨率重建方法、装置和电子设备
- 本发明提供了一种高光谱图像超分辨率重建方法、装置和电子设备，涉及图像处理的技术领域，包括：获取训练样本集和待重建的目标高分辨率多光谱图像和目标低分辨率高光谱图像，构建空间退化表征网络、光谱退化表征网络和用于图像重建的融合...
- 廉玉生曹栩珩伍佳惠徐先庆王凯旋马超
- 螺旋波等离子体放电特性的射频补偿朗缪尔单探针测量研究被引量：4
- 2015年
- 采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响。结果表明,随着功率的增大,等离子体密度会出现两次明显的跳跃,分析认为放电模式经历了由容性模式到感性模式和波模式转变过程。实验发现磁场的增大、放电压强的增大都可以使模式转变的功率阈值提前。同时,在天线上端的测量到低场密度峰的存在,并进行了气压和功率的影响的研究,认为低场峰主要是由螺旋波放电模式引起。
- 马超赵高刘忠伟桑利军陈强
- 关键词：螺旋波等离子体
