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余养菁
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
厦门大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
理学
电子电信
机械工程
一般工业技术
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合作作者
李孔翌
厦门大学
李书平
厦门大学
姜伟
厦门大学
康俊勇
厦门大学
张斌恩
厦门大学
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氮化镓薄膜
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纤锌矿
1篇
纤锌矿结构
机构
2篇
厦门大学
作者
2篇
余养菁
1篇
张斌恩
1篇
康俊勇
1篇
姜伟
1篇
李书平
1篇
李孔翌
传媒
1篇
半导体技术
年份
2篇
2011
共
2
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GaN薄膜的椭偏光谱研究
GaN基材料具有禁带宽度大、电子漂移饱和速率高、介电常数小、导热性能好等特点,非常适合制作抗辐射、高频、大功率和高密度集成电子器件,在通信、汽车、航空、航天、石油开采以及国防等方面有着广泛的应用前景,特别是GaN材料折射...
余养菁
关键词:
氮化镓薄膜
椭圆偏振光谱
光学各向异性
色散关系
GaN薄膜的椭偏光谱研究
被引量:1
2011年
采用椭圆偏振光谱法,在1.50~6.50 eV光谱内,研究了在蓝宝石衬底(0001)面上使用金属有机化学气相沉积(MOCVD)的方法制备的非掺杂纤锌矿结构GaN薄膜的光学性质。建立GaN表面层/外延层/缓冲层/衬底四层物理结构模型。与Cauchy和Sellmeier色散公式比较后选择了Tanguy Extended色散公式来分析GaN薄膜的光学性质。椭圆偏振光谱拟合结果表明,Tanguy Extended色散公式能更准确、方便地描述GaN薄膜在全波段(特别是带隙及带隙之上波段)的色散关系。提供了GaN薄膜在1.50~6.50 eV光谱范围内的寻常光(o光)和非寻常光(e光)折射率和消光系数色散关系,为定量分析GaN薄膜带边附近各向异性的光学性质提供了依据。
余养菁
张斌恩
李孔翌
姜伟
李书平
康俊勇
关键词:
GAN薄膜
椭圆偏振光谱
光学各向异性
色散关系
纤锌矿结构
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