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余养菁

作品数:2 被引量:1H指数:1
供职机构:厦门大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇圆偏振
  • 2篇圆偏振光
  • 2篇色散
  • 2篇色散关系
  • 2篇偏振
  • 2篇偏振光
  • 2篇偏振光谱
  • 2篇椭偏光谱
  • 2篇椭圆偏振
  • 2篇椭圆偏振光
  • 2篇椭圆偏振光谱
  • 2篇光谱
  • 2篇光学各向异性
  • 2篇GAN薄膜
  • 1篇氮化镓
  • 1篇氮化镓薄膜
  • 1篇纤锌矿
  • 1篇纤锌矿结构

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇余养菁
  • 1篇张斌恩
  • 1篇康俊勇
  • 1篇姜伟
  • 1篇李书平
  • 1篇李孔翌

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 2篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
GaN薄膜的椭偏光谱研究
GaN基材料具有禁带宽度大、电子漂移饱和速率高、介电常数小、导热性能好等特点,非常适合制作抗辐射、高频、大功率和高密度集成电子器件,在通信、汽车、航空、航天、石油开采以及国防等方面有着广泛的应用前景,特别是GaN材料折射...
余养菁
关键词:氮化镓薄膜椭圆偏振光谱光学各向异性色散关系
GaN薄膜的椭偏光谱研究被引量:1
2011年
采用椭圆偏振光谱法,在1.50~6.50 eV光谱内,研究了在蓝宝石衬底(0001)面上使用金属有机化学气相沉积(MOCVD)的方法制备的非掺杂纤锌矿结构GaN薄膜的光学性质。建立GaN表面层/外延层/缓冲层/衬底四层物理结构模型。与Cauchy和Sellmeier色散公式比较后选择了Tanguy Extended色散公式来分析GaN薄膜的光学性质。椭圆偏振光谱拟合结果表明,Tanguy Extended色散公式能更准确、方便地描述GaN薄膜在全波段(特别是带隙及带隙之上波段)的色散关系。提供了GaN薄膜在1.50~6.50 eV光谱范围内的寻常光(o光)和非寻常光(e光)折射率和消光系数色散关系,为定量分析GaN薄膜带边附近各向异性的光学性质提供了依据。
余养菁张斌恩李孔翌姜伟李书平康俊勇
关键词:GAN薄膜椭圆偏振光谱光学各向异性色散关系纤锌矿结构
共1页<1>
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