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余慧

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇低温等离子体
  • 1篇清洗机理

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇余慧
  • 1篇李俊岭

传媒

  • 1篇清洗世界

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
低温等离子体清洗设备被引量：3
2005年
简要介绍了低温等离子体清洗设备清洗机理、特点及其应用。
李俊岭余慧
关键词：低温等离子体清洗机理
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共1页<1>
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