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激光合成波长纳米位移测量干涉仪的非线性误差分析与补偿方法研究: 近年来,随着微电子、超精密加工等高新技术的迅速发展,对纳米位移测量技术及仪器提出了既要测量范围大又要同时达到纳米级测量精度的要求。本论文依托于“激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制”国家自然科学基金项目(No.50827...; 姚喜国; 关键词：激光干涉合成波长空气折射率; 文献传递

激光合成波长干涉仪的准直方法研究被引量：1: 2011年; 对激光合成波长干涉仪的准直方法进行研究。提出采用四象限探测器实现激光合成波长干涉仪的准直方法,描述激光合成波长干涉仪的准直原理与信号处理方法;对参考角锥棱镜进行准直测量实验,实验结果表明:在x方向所测数据的标准偏差从7.038 mV减小到1.6 mV,在z方向所测数据的标准偏差从30.118 mV减小到1.119 mV;对测量角锥棱镜进行准直测量实验,实验结果表明:在x方向所测数据的标准偏差从3.204 9 mV减小到1.202 mV,在y方向所测数据的标准偏差从2.831 231 mV减小到0.673 mV。验证了所用准直方法的可行性和实用性。; 魏若飞严利平姚喜国杨涛陈本永; 关键词：激光干涉仪准直四象限探测器

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姚喜国