张巨帆
- 作品数：15 被引量：42H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学深圳研究生院更多>>
- 发文基金：武器装备预研基金国家自然科学基金黑龙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信理学更多>>
- 大气等离子体抛光技术在超光滑硅表面加工中的应用被引量：28
- 2007年
- 发展了大气等离子体抛光方法,并用于超光滑表面加工。该技术基于低温等离子体化学反应来实现原子级的材料去除,避免了表层和亚表层损伤。运用原子发射光谱法证明了活性反应原子的有效激发,进而揭示了特定激发态原子对应的电子跃迁轨道。在针对单晶硅片的加工实验中,应用有限元分析法在理论上对加工过程中的空间气体流场分布和样品表面温度分布进行了定性分析。后续的温度检测实验证实了样品表面温度梯度的形成,并表明样品表面最高温度仅为90℃。材料去除轮廓检测结果符合空间流场的理论分布模型,加工速率约为32 mm3/min。利用原子力显微镜对表面粗糙度进行测量,证实了加工后样品表面在一定范围内表面粗糙度Ra=0.6 nm。最后,利用X射线光电子谱法研究了该方法对加工后表面材料化学成分的影响。实验和检测结果均表明,该抛光方法可以进行常压条件下的超光滑表面无损抛光加工,实现了高质量光学表面的无损抛光加工。
- 张巨帆王波董申
- 关键词：超光滑表面单晶硅电容耦合
- 超光滑表面加工方法的新进展
- 通过回顾超光滑表面加工技术的发展历程,对多种具有代表性的超光滑表面加工方法的原理和应用作了简单阐述,并重点提出和介绍了一种大气等离子体抛光方法。该方法实现了利用常压等离子体激发化学反应来完成超光滑表面的无损伤抛光加工,并...
- 张巨帆王波董申
- 关键词：超光滑表面超精密加工大气等离子体电容耦合抛光加工
- 文献传递
- 超光滑表面加工方法的新进展被引量：14
- 2007年
- 通过回顾超光滑表面加工技术的发展历程,对多种具有代表性的超光滑表面加工方法的原理和应用作了简单阐述,并重点提出和介绍了一种大气等离子体抛光方法。该方法实现了利用常压等离子体激发化学反应来完成超光滑表面的无损伤抛光加工,并首次引入电容耦合式炬型等离子体源,为高质量光学表面的加工提供了一条新的途径。试验结果表明,在针对单晶硅的加工过程中实现了1μm/min的加工速率和Ra 0.6nm的表面粗糙度。
- 张巨帆王波董申
- 关键词：超光滑表面超精密加工大气等离子体电容耦合
- 用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬
- 用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬，它涉及一种常压等离子体抛光设备。本实用新型的目的是为解决常规的机械式研抛方法在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、容易产生表层及亚表层损伤和内炬管易腐...
- 张巨帆王波张龙江董申
- 文献传递
- 常压等离子体抛光方法
- 常压等离子体抛光方法，它涉及一种抛光方法。本发明的目的是为解决常规的机械式研抛方法存在的不足及在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、易产生表层及亚表层损伤、表面清洗困难等问题。本发明的方法主要是，等离...
- 王波张巨帆董申张龙江
- 文献传递
- 用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬
- 用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬，它涉及一种等离子体抛光设备。本发明的目的是为解决常规的机械式研抛方法在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、容易产生表层及亚表层损伤和现有的平行板式等离...
- 王波张巨帆张龙江王浪平董申
- 文献传递
- 高精度轮廓控制的抛光机构控制系统设计
- 2015年
- 抛光是提高自由曲面表面精度的一种重要手段,气囊抛光法做为近年来出现的实用性较高的抛光方法之一,日渐得到广泛应用.首先,根据气囊抛光的工作机理和七轴混联设备模型,提出采用以Power UMAC运动控制器和工业电脑为核心的气囊抛光运动控制系统,利用运动控制器的动态链接库设计开发了软件平台,制作了便于使用的人机交互界面.其次,对控制系统进行运动规划,在S型曲线的基础上,以对加加速度进行梯形规划为出发点,使用7阶S型曲线针对速度和加速度同时进行规划,使加减速过程更加平滑,减小冲击与振动.最后,通过对抛光轨迹的轮廓误差进行建模分析,根据误差模型编写控制算法,对轮廓误差进行补偿,并进行仿真实验,与未经过算法优化的轮廓误差数据进行对比,证明所使用的误差控制补偿算法能够有效的减小轮廓误差.
- 李泽徐鹏张巨帆李兵张志辉
- 关键词：控制系统
- 常压等离子体抛光方法
- 常压等离子体抛光方法，它涉及一种抛光方法。本发明的目的是为解决常规的机械式研抛方法存在的不足及在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、易产生表层及亚表层损伤、表面清洗困难等问题。本发明的方法主要是，等离...
- 王波张巨帆董申张龙江
- 文献传递
- 常压等离子体抛光装置
- 常压等离子体抛光装置，它涉及一种抛光装置。本发明的目的是为解决常规的机械式研抛方法存在的不足及在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、易产生表层及亚表层损伤、表面清洗困难等问题。本发明的主要部件包括：密...
- 王波张巨帆王浪平张龙江董申
- 文献传递
- 超光滑表面加工方法的新进展
- 通过回顾超光滑表面加工技术的发展历程,对多种具有代表性的超光滑表面加工方法的原理和应用作了简单阐述,并重点提出和介绍了一种大气等离子体抛光方法.该方法实现了利用常压等离子体激发化学反应来完成超光滑表面的无损伤抛光加工,并...
- 张巨帆王波董申
- 关键词：超光滑表面超精密加工大气等离子体电容耦合单晶硅
- 文献传递
