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彭永清

作品数：7 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：化学工程环境科学与工程电子电信理学更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇建筑科学
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇理学

主题

  • 2篇电路
  • 2篇色谱
  • 2篇气体
  • 2篇光敏
  • 2篇半导体
  • 1篇直读式
  • 1篇色谱法
  • 1篇色谱法分析
  • 1篇色谱仪
  • 1篇四氟
  • 1篇四氟化碳
  • 1篇特气
  • 1篇特种气体
  • 1篇气敏
  • 1篇气体分析
  • 1篇气体含水量
  • 1篇气体检测
  • 1篇气中
  • 1篇柱色谱
  • 1篇微水

机构

  • 7篇中国科学院

作者

  • 7篇彭永清
  • 4篇尹恩华
  • 3篇闻瑞梅
  • 2篇李建平
  • 2篇雷沛云
  • 1篇梁骏吾
  • 1篇李建平
  • 1篇邓礼生
  • 1篇杨雪珍
  • 1篇刘成海
  • 1篇陆大成

传媒

  • 3篇低温与特气
  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇1995
  • 2篇1994
  • 2篇1989
  • 1篇1988
  • 1篇1900
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
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半导体材料与器件生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测被引量：4
1995年
本文研究了化合物半导体材料、器件生产工艺过程中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法．还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法，并与其它经典的方法作了对比．
闻瑞梅梁骏吾邓礼生彭永清
关键词：尾气砷磷硫半导体材料
气敏色谱法分析硅烷和磷烷
1988年
研究用气敏(氢敏)色谱仪分析硅烷和磷烷的方法,获得了成功的结果。分析硅烷和磷烷的最小检测量分别为0.06ppm和0.13ppm。用注射进样结合稀释法测得硅烷和磷烷的相对标准偏差分别为±2.96％和±3.78％。
彭永清李建平尹恩华
关键词：磷烷硅烷气敏色谱法色谱仪稀释法
GI型特气净化剂研制
1989年
为了对特种气体进行净化,我们于1984年开展了GI型净化剂的研制。经过几年的努力,已研制成一种能用于永久性气体和特种气体的以镓为主要原料的净化剂,其脱氧深度对于8ppm的氢气可脱到0.03ppm,其脱水可由375ppm(露点-30℃)脱到0.54ppm(露点-80℃)。一、仪器与实验装置采用SIGMA型气相色谱仪、玻璃露点仪与二次仪表(数字式毫伏计)、ZAV-2型黄磷发光微氧仪。实验流程如图1所示。
尹恩华陆大成彭永清
关键词：气体特种气体净化剂镓
一种直读式数字微水仪
本实用新型公开了一种通过测量设于气体检测腔内控温镜面的结露温度测定气体含水量的直读式数字显示微水仪。它的检测部分设有光敏的结露监测电路以及镜面温度测量、气体含水量的换算与显示和(或)打印电路。它具有使用方便，检测效率高以...
闻瑞梅潘贵堂彭永清雷沛云
文献传递
无污染进样法分析电子气中的痕量氧
1989年
电子工业中使用的高纯气体要求含氧量在0.2～0.05ppm。这不仅要求分析方法灵敏度高,而且还要解决外界氧的污染问题。为了避免在分析进样时环境中的氧对样品气的污染,我们在ZAV—2型微氧仪(日本产)上设计安装了无污染进样装置。同时,
彭永清李建平尹恩华
一种自动检测露点仪
本实用新型公开了一种不依赖肉眼判断镜面结露，能够自动检测气体露点的镜面露点仪。它的检测部分设有光敏的结露监测电路以及由此监测电路控制的镜面温度测量电路。它具有使用方便、检测效率高以及数据准确、可靠等诸多优点。
雷沛云彭永清闻瑞梅刘成海
文献传递
几种氟化物气体分析
尹恩华彭永清杨雪珍李建平曹座
该成果适用于分析几种氟化物气体，包括ＣＦ4 、ＣＨＦ3 、Ｃ2 Ｆ6 和Ｃ3 Ｆ8 四种。通过研究，建立了先进的分析方法和性能良好的色谱柱。研制了无污染柱上进样器，提高了分析准确度，降低了本底空白。该分析方法能可靠地控制...
关键词：
关键词：半导体器件柱色谱分析方法气体分析四氟化碳氟化物
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