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CVD掺硅金刚石残余应力的X射线衍射和拉曼光谱分析(英文)被引量：9: 2012年; 采用X射线衍射（XRD）和拉曼光谱2种方法测量了不同硅碳比的CVD掺硅金刚石薄膜的残余应力。采用偏压增强热丝化学气相沉积装置在硬质合金基底上制备了掺硅金刚石薄膜,将正硅酸乙酯以不同的体积比溶解在丙酮中以使得反应气体中的硅碳比从0.1%变化到1.4%,从而控制掺硅金刚石薄膜的掺杂浓度。SEM和XRD的表征结果显示,随着硅掺杂浓度的增加,金刚石薄膜的晶粒尺寸减小,而金刚石（110）的晶面则逐渐占优。XRD法是测量入射角从0°到45°变化时对应的金刚石（220）面XRD衍射峰,并采用sin2ψ方法计算掺硅金刚石薄膜的残余应力。拉曼谱法则是通过检测金刚石特征峰偏移1332cm1位置的偏移量来测量残余应力。2种方法测得的残余应力随着硅掺杂含量的升高显示出良好的一致性,所有的硅掺杂金刚石的残余应力均为压应力,Si/C摩尔比为0.1%的薄膜具有最高的残余应力,为~1.75GPa（拉曼谱法）或~2.3GPa（XRD法）。随着硅掺杂浓度的进一步升高,薄膜的残余应力则稳定在~1.3GPa左右。; 陈苏琳沈彬张建国王亮孙方宏; 关键词：残余应力 X射线衍射拉曼光谱

加工氧化锆陶瓷的金刚石涂层刀具的制备及切削试验研究被引量：2: 2014年; 使用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金片以及球头铣刀表面沉积了微米金刚石薄膜(MCD),纳米金刚石薄膜(NCD)以及微米纳米复合金刚石薄膜(MNCD),通过扫描电子显微镜和拉曼光谱对其进行表征,结果呈现出典型的金刚石薄膜的性质,沉积质量高。金刚石薄膜与氧化锆陶瓷的摩擦磨损实验表明:金刚石薄膜能有效地降低对磨时的摩擦系数以及磨损率。使用三种金刚石薄膜涂层铣刀对氧化锆陶瓷进行铣削加工试验,结果显示:金刚石涂层刀具磨损率大幅度降低,刀具寿命显著增强。; 王海旺王亮雷学林沈彬孙方宏; 关键词：氧化锆陶瓷金刚石薄膜涂层刀具摩擦学性能

掺硅金刚石薄膜涂层焊接套的制备及其应用: 在本文采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在硬质合金(WC-Co)材质的焊接套上沉积了掺硅金刚石薄膜。采用丙酮及氢气作为反应气源，以正硅酸乙酯为掺杂源，并采用鼓泡法利用部分氢气将掺杂源代入反应腔内。运用场发射扫描电镜(F...; 王亮孙方宏张志明; 关键词：热丝化学气相沉积硬质合金

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王亮