袁佳晶
- 作品数：12 被引量：12H指数：2
- 供职机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 基于热丝法的制备双面金刚石涂层的装置
- 本发明针对现有热丝法沉积金刚石膜工艺中采用的电极只能在衬底上单面沉积金刚石膜且效率较低的问题，公开了一种基于热丝法的制备双面金刚石涂层的装置，它主要包由电极机构、进气机构、预紧力调节机构、测温机构、衬底机构组成。它实现了...
- 卢文壮左敦稳林欢庆袁佳晶徐锋孙玉利陈兴峰杨旭佟佩声喻赛花赵阳
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- 能多面沉积CVD金刚石膜的高热阻镂空衬底工作台及其应用
- 本发明针对目前的强制冷却工作台上存在的起始升温慢而降温快易造成在基体侧面沿着厚度方向上的温度场和反应气体流场不一致，沉积的CVD金刚石膜的残余应力高、厚度均匀性差等问题，公开了一种能多面沉积CVD金刚石膜的高热阻镂空衬底...
- 卢文壮左敦稳徐锋黎向锋任卫涛杨春袁佳晶黄铭敏吴小军蒋艳王珉
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- 基于热丝法的制备双面金刚石涂层的装置
- 本发明针对现有热丝法沉积金刚石膜工艺中采用的电极只能在衬底上单面沉积金刚石膜且效率较低的问题，公开了一种基于热丝法的制备双面金刚石涂层的装置，它主要包由电极机构、进气机构、预紧力调节机构、测温机构、衬底机构组成。它实现了...
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- CVD金刚石膜激光打孔温度场有限元仿真被引量：3
- 2010年
- 化学气相沉积金刚石膜是聚优异力学、电学、热学性能于一体的材料。金刚石激光打孔过程中存在特有的石墨化现象使得其温度场的分布有别于其他材料,因而,开展CVD金刚石膜激光打孔温度场研究对于理解热加工机理和进行参数优化具有重要的指导意义。本文首先建立了考虑金刚石石墨化过程的激光打孔热力学模型,根据有限元模型开展对CVD金刚石膜激光打孔有限元仿真研究,得到激光打孔温度场和金刚石石墨化的分布规律,并讨论激光能量、脉冲宽度、重复频率对单个脉冲去除量和石墨化程度的影响。仿真结果表明:单个脉冲平均去除量和石墨化程度均随着激光能量、脉冲宽度、重复频率的增加而增加,但激光能量的影响最为显著;当激光能量取0.5～1.6J,脉冲宽度取300～800ns,重复频率取30～60Hz时既可以得到很高的加工效率同时又可以获得热影响区域较小的加工效果。
- 吴小军左敦稳徐锋王珉何家源袁佳晶
- 关键词：CVD金刚石膜温度场有限元
- 基于模型复制法的金刚石微结构制备研究被引量：6
- 2010年
- CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在微机电系统(MEMS)领域有着广泛的应用前景。金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术。本文开展了金刚石微结构的制备实验研究,利用在硅微模具中沉积金刚石膜的方法成功制作了微细梁、微圆柱、十字结构、文字图形等一系列金刚石微结构。Raman、SEM、ADE等多种理化分析结果表明采用这种模型复制工艺能够获得表面质量好、图形复杂、形状和尺寸精度很高的金刚石微结构,并能够实现批量制造,是制作金刚石微器件的理想方法。
- 袁佳晶卢文壮王红军徐锋左敦稳
- 关键词：CVD金刚石微结构HFCVD
- 硬质合金表面沉积CVD金刚石膜的梯度法预处理工艺
- 本发明针对目前的现有的硬质合金表面沉积CVD金刚石膜预处理工艺中棱边和尖角上脱Co的速度比面上脱Co的速度快，造成棱边和尖角处强度降低，影响产品的性能，甚至还会造成棱边和尖角蚀损等问题，发明了一种硬质合金表面沉积CVD金...
- 左敦稳卢文壮徐锋黎向锋杨春任卫涛袁佳晶黄铭敏吴小军蒋艳王珉
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- CVD金刚石微器件的制备工艺及机理研究
- CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在MEMS领域有着广阔的应用前景。金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术。由于金刚石具有极高的硬度和化学稳定性,必须采用特殊的方法来实...
- 袁佳晶
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- 超硬压头的制备方法
- 一种超硬压头的制备方法，其特征是它包括①基材准备；②刻槽；③模具加工；④模具型腔的预处理；⑤填阻隔物；⑥沉积；⑦脱模和⑧焊接共8个步骤。本发明采用容易加工的材料作为模具，在模具型腔内沉积形状复杂的CVD金刚石，可以避免对...
- 左敦稳卢文壮邵定林徐锋孙玉利袁佳晶朱良杰杨旭佟佩声谭敏朱赟
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- 整体硬质合金铣刀上制备CVD金刚石涂层的系统三维流场研究被引量：2
- 2010年
- 本文通过建立整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层时CVD沉积系统流场的三维模型,研究了进气口分布对该系统流场均匀性的影响,优化了进气口的分布;在仿真的基础上开展了整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层的验证实验,采用SEM和Ram an对制备的CVD金刚石涂层进行了分析测试。结果表明:优化后的流场可以用于制备高质量的CVD金刚石涂层,且批量制备出的在衬底不同位置上的铣刀表面CVD金刚石涂层的质量均匀一致。
- 林欢庆卢文壮左敦稳徐锋袁佳晶马乐娟
- 关键词：铣刀CVD金刚石涂层三维流场
- 硬质合金表面沉积CVD金刚石膜的梯度法预处理工艺
- 本发明针对目前的现有的硬质合金表面沉积CVD金刚石膜预处理工艺中棱边和尖角上脱Co的速度比面上脱Co的速度快，造成棱边和尖角处强度降低，影响产品的性能，甚至还会造成棱边和尖角蚀损等问题，发明了一种硬质合金表面沉积CVD金...
- 左敦稳卢文壮徐锋黎向锋杨春任卫涛袁佳晶黄铭敏吴小军蒋艳王珉
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