谢晓
- 作品数:20 被引量:8H指数:2
- 供职机构:中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 用于气体传感器的SAW谐振型振荡器系统
- 本发明涉及一种用于气体传感器的SAW谐振型振荡器系统,包括SAW振荡器和混频电路;所述的SAW振荡器为两组,且该两组采用铝/金电极的具有单一谐振模式和高Q值的两端对SAW谐振器制作在同一压电基片上;所述的SAW振荡器包括...
- 王文何世堂谢晓刘明华李顺洲
- 文献传递
- 一种用于气体传感器的乐甫波器件研制
- 改善乐甫波器件的温度特性,本文实验研究了覆盖不同膜厚的SU-8声波导层对乐甫波器件的温度系数的影响.采用电极宽度控制单向单相(EWC/SPUDT)结构,设计制作了以ST-90°X石英为基片,结合三种不同厚度的S...
- 陈桂谢晓王文何世堂
- 关键词:气体传感器温度特性
- 用于气体传感器的声表面波谐振器型振荡器性能的实验分析
- 1引言随着科学技术的发展,人们对环境中有毒气体的检测越来越重视。基于声表面波(SAW)模式的气体传感器以其灵敏度高、选择性好、响应快、体积小、成本低等特点受到了广泛的关注和研究。
- 谢晓王文刘明华何世堂
- 文献传递
- 用于气体传感器的声表面波谐振器型振荡器性能的实验分析
- 随着科学技术的发展,人们对环境中有毒气体的检测越来越重视。基于声表面波(SAW)模式的气体传感器以其灵敏度高、选择性好、响应快、体积小、成本低等特点受到了广泛的关注和研究。本文研制了一种基于两端对谐振器的应用于气体传感器...
- 谢晓王文刘明华何世堂
- 关键词:气体传感器声表面波振荡器
- 文献传递
- 覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器响应机理分析
- 本文采用Martin理论和摄动法分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器的响应机理.以针对有机磷毒剂具有良好选择性的FPOL膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响,...
- 谢晓王文刘明华何世堂
- 关键词:声表面波气体传感器优化设计
- 文献传递
- 涂覆聚苯胺的声表面波湿度传感器实验研究
- 2013年
- 0引言湿度测量在工农业生产、食品卫生、气象、环保、国防等领域具有重要应用。随着应用范围的逐渐扩大,集成化、智能化、网络化的湿度传感器日益成为近年来的研究热点。基于声表面波(SAW)模式的湿度传感器以其灵敏度高、响应快、体积小、成本低、易集成等特点受到了广泛的关注[1]。
- 谢晓王文何世堂
- 关键词:湿度传感器声表面波食品卫生湿敏PANI
- 一种用于气体传感器的声表面波谐振器
- 本发明涉及一种用于气体传感器的SAW谐振器,包括压电基片(32),置于压电基片(32)表面的第一叉指换能器(34)、第二叉指换能器(35)、分别与第一叉指换能器(34)、第二叉指换能器(35)外侧相邻的第一短路栅反射器(...
- 王文谢晓何世堂
- 文献传递
- 用于气体传感器的声表面波谐振器型振荡器性能的实验分析
- 本文研制了一种基于两端对谐振器的应用于气体传感器的SAW振荡器,并对其频率稳定性特别是敏感薄膜材料对器件的频响特性的影响进行了分析,且与延迟线结构的振荡器性能进行了对比。
- 谢晓王文刘明华何世堂
- 关键词:气体传感器频响特性
- 一种用于SAW气体传感器的两端对谐振器型振荡器
- 本文设计了一种用于气体传感器的300MHz两端对SAW谐振器型振荡器,并测试了其短期和中期频率稳定性。另外,通过对其表面敏感膜区域进行聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)聚合物镀膜实验,分析了聚合物膜材料对谐振器器件频响特性特别...
- 谢晓王文刘明华何世堂
- 关键词:振荡器
- 文献传递
- 涂覆聚苯胺的声表面波湿度传感器实验研究
- 本文采用聚苯胺作为湿敏材料,研制了一种应用于湿度测量的两端对谐振器型SAW振荡器,对器件的频响特性进行了分析,并比较了不同聚苯胺膜材料厚度对振荡器频率变化的影响,提取了优化的膜厚参数。通过实验发现,本文所研制的涂覆聚苯胺...
- 谢晓王文何世堂
- 关键词:湿度传感器声表面波聚苯胺频响特性