陈勇
- 作品数：3 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 便携式表面等离子体共振传感器温度特性被引量：6
- 2009年
- 采用美国德州仪器公司开发的Spreeta系列小型化SPR传感模块,实验研究了环境温度变化对便携式表面等离子体共振传感器工作特性的影响.发现随着温度的升高,共振角度向小角度方向移动,并提出了完整的理论分析模型.该模型讨论了环境温度变化对金属薄膜、棱镜、待测物的物理性质的影响,模拟结果与实验测量结果吻合得很好.
- 林开群鲁拥华罗艳华陈勇郑荣升谢志国王沛明海
- 关键词：表面等离子体共振温度特性
- 软X射线自支撑闪耀透射光栅
- 2012年
- 软X射线自支撑闪耀透射光栅或临界角透射光栅是美国麻省理工学院为满足国际X射线天文台X射线光栅谱仪的科学要求而提出的一种新型衍射光栅,它集中了透射和反射光栅的优点,同时避免它们的缺点.文章对软X射线自支撑闪耀透射光栅的概念、基本原理、制作工艺进行了综述,介绍了美国麻省理工学院的光栅研制工作进展和文章作者的初步研究结果.
- 徐向东陈勇邱克强刘正坤付绍军
- 关键词：软X射线衍射光栅各向异性腐蚀
- 1000线/毫米软X射线自支撑闪耀透射光栅的设计与制作被引量：2
- 2012年
- 基于标量衍射理论讨论了软X射线自支撑闪耀透射光栅的特性并设计了光栅的结构参数.采用全息光刻和湿法腐蚀技术,成功制作了周期1μm、占空比0.1—0.2、高宽比约100、栅线厚度10μm、有效面积比为65%的自支撑闪耀透射光栅.单元尺寸为15mm×15mm的硅绝缘体上含有四个5 mm×5 mm的自支撑闪耀透射光栅窗口.在国家同步辐射实验室检测了该光栅在5—50 nm波长范围内的衍射效率.波长扫描测量结果表明,闪耀效应明显地发生在类似镜面的光栅侧壁镜面反射方向上,闪耀级次位置及其特征与标量理论预测的一致.衍射效率的实测结果基本与理论模拟符合,只是因光栅结构上的缺陷致使衍射效率偏低,峰值只有理论值的38%—49%.实验结果证明了闪耀透射光栅的概念和湿法制作工艺的可行性.
- 陈勇邱克强徐向东刘正坤刘颖付绍军
- 关键词：全息光刻各向异性腐蚀
