马春兰
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：苏州铁道师范学院物理系更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 使用ECR苯等离子体沉积含氢非晶碳薄膜被引量：1
- 2000年
- 用苯作工作气体 ,在一个电子回旋共振 (ECR)微波等离子体化学气相沉积系统中制备了含氢非晶碳膜 (a -C :H) .对苯等离子体作了质谱分析 ,发现苯分解后形成的主要基团是C2 H4等 ,而不是常规甲烷放电的CH3,这将影响膜的结构。实验中还考察了沉积参数 ,如功率、气压、流量、基片温度对膜的沉积速率的影响。实验表明 :沉积速率随微波功率、气压和流量的增加而上升 ;随温度的升高先升后降 ,存在极值。对制备的膜作了氢含量和Raman谱分析 ,结果显示随着基片温度的增加 ,sp3结构在膜中所占的比例增大 ,膜更趋向于类金刚石膜。
- 马春兰程珊华宁兆元叶超康健辛煜
- 关键词：ECR-CVD基片温度非晶碳膜
- 氢化非晶碳膜导电机制的探索
- 2000年
- 采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (ECR -CVD)方法 ,以苯为气源 ,在不同基片温度下制备了氢化非晶碳膜 (a -C :H) ,对样品进行了伏安特性测试。考察了基片温度对样品电阻率与击穿场强的影响 ,结合薄膜含氢量、SEM、Raman散射等分析手段探索了a -C
- 马春兰
- 关键词：基片温度导电机制
