马英鹤
- 作品数:15 被引量:11H指数:2
- 供职机构:哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金教育部重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺一般工业技术核科学技术电子电信更多>>
- 离化增强的脉冲阴极弧沉积TiCN薄膜结构和性能研究
- 研制了新型的脉冲阴极弧用于增强空间等离子体密度,取得了较好的实验效果。与直流阴极弧相比,利用脉冲阴极弧技术可以提高等离子体密度并将基体获得电流提高5-6倍,Ti CN薄膜显微硬度由1075HV0.1提高到1616HV0....
- 马英鹤孔营吴明忠胡健巩春志田修波
- 关键词:显微硬度结合力
- 文献传递
- 氮气气压对阴极弧CrTiAlN薄膜组织和性能影响研究
- CrAlTiN由于具有较高的硬度、高温抗氧化性能和耐腐蚀性能在硬质薄膜领域得到了广泛的应用。CrTiAlN是以Al Ti N为基础,通过添加Cr元素构成的多层复合膜层。相比传统的Ti N薄膜,Al的加入,可使涂层抗氧化温...
- 孔营马英鹤吴明忠巩春志田修波
- 文献传递
- 氮气气压对阴极弧CrTiAlN薄膜组织和性能影响研究
- CrAlTiN 由于具有较高的硬度、高温抗氧化性能和耐腐蚀性能在硬质薄膜领域得到了广泛的应用.CrTiAlN 是以AlTiN 为基础,通过添加Cr 元素构成的多层复合膜层.相比传统的TiN 薄膜,Al 的加入,可使涂层抗...
- 孔营马英鹤吴明忠巩春志田修波
- 小脉冲组合直流阴极弧制备AlCrN薄膜
- 阴极脉冲弧源可以显著降低大颗粒数量并提高离化程度,直流组合脉冲弧可保持电弧稳定。本文通过小脉冲组合直流阴极弧离子镀技术增强真空室内气体离化,增大基体电流,以获得高性能 AlCrN 薄膜。
- 吴厚朴林爱国孔营马英鹤巩春志田修波
- 关键词:放电特性
- Ti阴极弧脉冲放电与Ti(Si, C)N薄膜结构及性能研究
- 阴极弧技术具有离化率高、离子能量高、沉积速度快、膜基结合力好等优点,广泛应用于工业生产中。但随着工业技术的发展,对于薄膜质量要求也逐渐提高,而众多研究表明,等离子体密度是影响薄膜质量的关键因素之一。传统阴极弧是直流电源供...
- 马英鹤
- 关键词:放电等离子体微观结构
- 文献传递
- 离化增强的脉冲阴极弧沉积TiCN薄膜结构和性能研究
- 研制了新型的脉冲阴极弧用于增强空间等离子体密度,取得了较好的实验效果.与直流阴极弧相比,利用脉冲阴极弧技术可以提高等离子体密度并将基体获得电流提高5-6 倍,TiCN 薄膜显微硬度由1075HV0.1 提高到1616HV...
- 马英鹤孔营吴明忠胡健巩春志田修波
- 关键词:显微硬度结合力
- 新型高功率复合脉冲磁控放电技术
- 高功率脉冲磁控溅射是一种最近发展起来的技术,其利用脉冲瞬间施加的高电压形成高高密度的等离子体,脉冲功率达到千瓦至兆瓦,有效提高了膜层均匀性、致密性以及膜基结合力。然而由于高功率脉冲产生极大的瞬时电压,在得到高离化率等离子...
- 张新宇蔡明哲吴明忠胡健马英鹤巩春志田修波
- 文献传递
- 铝合金焊接构件微弧氧化不均匀性及接头耐蚀性研究
- 铝合金是目前应用最为广泛的金属材料之一,焊接常被用来进行铝合金结构的连接。但是铝合金接头易腐蚀,这常常是造成铝合金构件失效的重要原因之一。微弧氧化作为一种新兴的表面改性技术,在对镁、铝、钛等金属进行表面改性时具有突出的优...
- 马英鹤
- 关键词:铝合金微弧氧化处理不均匀性耐蚀性能
- 新型阴极弧电源研制及脉冲增强电子发射(P3e)效应研究被引量:2
- 2014年
- 本文研制了新型脉冲阴极弧电源,并实现了脉冲增强电子发射(P3e)以提高真空室内等离子体密度。该电源核心由脉冲发射和维持电流系统构成,由单片机和触摸屏系统协同控制和管理。对P3e电源进行放电特性和脉冲增强电子发射效应进行了研究。结果表明,在相同平均电弧电流条件下,与直流相比,P3e技术能够显著提高工件(基体)脉冲电流与平均电流。在电弧平均电流90 A时,基体脉冲电流由5 A提高到19.6 A,基体平均电流由2.2 A最大提高到4.6 A,表明脉冲增强了电子发射,进而获得高的等离子体密度,这将有助于增加膜层致密性、降低膜层应力。该新型电源对于阴极弧靶中毒抑制、膜层结构改善、膜层颗粒污染控制具有重要的意义。
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- 关键词:脉冲电流
- 电场增强的阴极弧放电TiCN薄膜结构及性能研究被引量:2
- 2017年
- 采用一种新型的电场增强阴极弧沉积技术在304不锈钢表面制备了TiCN涂层。研究了附加电极电流对阴极弧放电特性、涂层相结构、截面形貌、耐磨性以及结合力的影响。结果表明:附加电极的引入显著增加真空室内等离子体密度,工件偏流提高近100%;只有超过一定阈值,附加电极电流才能有效减小晶粒尺寸、提高膜层致密性,同时也提高膜基结合力。附加电极电流为30 A时,膜基结合力达到HF1,相对于无附加电极情况样品表面摩擦系数降低了33%,磨痕宽度最小,耐磨性最好。可见电场增强阴极弧放电是一种非常有效的TiCN制备方法。
- 孔营马英鹤李永健胡健高峻峰巩春志田修波
- 关键词:TICN表面性能