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丁纯

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇驱动电压
  • 1篇静电驱动
  • 1篇叉指电极

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇王东平
  • 1篇丁纯
  • 1篇李铁
  • 1篇王文辉
  • 1篇王跃林

传媒

  • 1篇第五届全国微...

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
梳状叉指电极驱动折叠悬臂梁的运动研究
对梳状叉指电极驱动的折叠悬臂梁结构的运动进行了研究.研究表明,在直流电压驱动下,悬臂梁的运动有一阈值;在阈值前,悬臂梁运动位移与驱动电压近似满足S∝U<'2>的关系.本文对此进行了理论分析,同时还对测量值与ANSYS模拟...
王东平李铁王文辉丁纯王跃林
关键词：驱动电压静电驱动
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