刘瑞鹏
- 作品数：5 被引量：13H指数：2
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 基于SISL的毫米波缝隙天线阵列
- 本发明公开一种基于SISL的毫米波缝隙天线阵列，由7层上下表面布置的金属层的介质基板自上而下排列构成，馈电结构布置于介质基板上，功分网络结构由多个功分网络构成；辐射结构由多个辐射单元组成，辐射缝隙加载在金属层G1和金属层...
- 马凯学刘瑞鹏闫宁宁王勇强
- 利用显微激光多普勒测量纳米梁的残余应力被引量：5
- 2009年
- 采用基于显微激光多普勒(MicroLD)技术的共振频率法,测量了纳米梁谐振器的残余应力。首先,根据梁的横向弯曲振动理论建立了轴向力作用下固支梁的振动偏微分方程,并根据轴向力的拉压性质解得方程的唯一解形式。随后,由被测梁的应力状况确定可采用最优化方法或数值迭代方法计算残余应力值,并提出结合有限元模态分析方法验证计算结果的正确性。最后,采用MicroLD测振系统对SiC-W固支梁谐振器的幅频响应特性进行了测试。计算结果表明,被测的一组梁的平均残余应力分散性较大,说明加工工艺不能消除结构内的残余应力,且不能控制残余应力的均匀性。
- 徐临燕栗大超刘瑞鹏邱晗傅星胡小唐
- 关键词：残余应力共振频率法
- 基于轻敲模式AFM的纳米振动表征方法
- 2010年
- 针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜(AFM)的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的振动系统模型,采用Runge-Kutta数值积分方法分析了AFM测振技术的可行性和工作带宽。使用静电激励的双端固支纳米梁作为测试结构,采用AFM轻敲模式测试了样品的幅频响应特性。同时采用显微激光多普勒测振系统进行了比对测试,测量结果与AFM轻敲力曲线模式的测量结果相符,也表现出AFM轻敲模式的测量误差具有与测试样品相关的频率特性。
- 徐临燕栗大超刘瑞鹏邱晗傅星胡小唐张文栋
- 关键词：纳机电系统轻敲模式
- 基于AFM的纳米梁杨氏模量和残余应力测量被引量：7
- 2010年
- 针对同一工艺流程下相同杨氏模量和残余应力的双端固支梁阵列,建立了简化的杨氏模量和残余拉应力的弯曲测试模型,并将应力刚化理论应用到几何非线性有限元分析中用于上述模型的理论误差评价。提出将拉曼频移测试与原子力显微镜(AFM)弯曲测试相结合的实验方案,首先利用拉曼频移判断结构中的应力拉压性质,随后利用AFM测量梁阵列的弹性系数,最终利用MATLAB求解超定方程组的方法解得梁阵列的杨氏模量和残余应力,测试结果证明了该实验方案的可行性。
- 徐临燕栗大超刘瑞鹏傅星张文栋胡小唐
- 关键词：杨氏模量残余应力原子力显微镜
- 基于弯曲测试技术的纳米梁厚度的精密测量被引量：1
- 2010年
- 针对广泛应用的扫描电镜和台阶仪在测量纳米厚度时存在的破坏性和近似性等局限性,提出了一种基于弯曲测试技术实现纳米梁厚度精密测量的方法.该方法的核心思想是悬浮结构在载荷的作用下产生初始弯曲直至其下表面与衬底接触的过程中形成的载荷-位移曲线会出现斜率明显不同的两个直线段,其交点代表了悬浮结构下表面与衬底之间的初始接触,由此可测量出该悬浮结构下表面与衬底之间的间隙,从而间接得到结构的厚度值.分别采用原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪作为测试平台对单晶硅固支纳米梁进行了厚度测量,两种测量仪器得到了一致性较好的测量结果.讨论了测量随机误差、系统误差以及数据计算误差等对测试结果的影响和相应的误差降低方法.
- 徐临燕栗大超刘瑞鹏傅星胡小唐张文栋
- 关键词：厚度原子力显微镜纳米压痕
