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周良兴

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：浙江大学机械工程学系现代制造工程研究所更多>>
发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇有限元
  • 1篇有限元法
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇周良兴
  • 1篇应济
  • 1篇李俊

传媒

  • 1篇工程设计学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于MEMS的静电微泵建模与仿真被引量：4
2009年
对MEMS中应用广泛的静电微泵进行有限元建模分析.对于涉及多能量域下多场耦合的静电微泵建模,在仿真过程中进行了合理简化.其中在静态分析中,利用圆型薄板的小挠度变形理论和微机电系统中的静电力驱动理论来模拟静电—结构耦合过程;在泵膜的模态分析、谐响应分析以及非线性瞬态分析中,把腔内的流体当作附加质量作用在泵膜上,近似代替流场对泵膜的影响,从而减小计算量,提高了仿真效率.
李俊应济周良兴
关键词：微机电系统有限元法
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