岳萍
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：北京信息科技大学传感技术研究中心更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金北京市教育委员会科技发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 无驱动结构硅微机械陀螺芯片的离子刻蚀技术
- 2015年
- 利用等离子体刻蚀理论和实验相结合的方法,实现了离子刻蚀无驱动结构硅微机械陀螺芯片技术。实验表明:离子刻蚀55μm硅的均匀性U=0.63%,选择比P=90∶1,刻蚀速率V=7.25μm/min,侧壁垂直度为90°±1°。应用该技术刻蚀出的芯片表面平整、光滑,解决了湿法刻蚀难以解决的横向腐蚀问题,并提高了刻蚀速率。
- 乔瑾张伟岳萍朴林华张福学
- 关键词：微机械陀螺刻蚀速率离子刻蚀
- 微机械陀螺芯片批生产质量管理模型构建与实践
- 本文介绍了硅微机械陀螺芯片批生产质量管理模型的构建,并对质量管理中出现的一些问题利用PDCA进行处理.针对冲击输出脉冲偏大的情况,提出了一步对准的制作方法,将冲击输出脉冲控制在规范内;针对芯片表面质量差的情况,提出了四步...
- 籍刚岳萍邹越牛红磊刘宇张伟
- 关键词：硅微机械陀螺芯片抗冲击性能
- 文献传递
- 二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器(英文)被引量：2
- 2010年
- 论述了气体摆的机理,分析了密闭腔中自然对流气体的浮升力及浮升力与温度变化的关系式。该文给出了二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器的结构原理和信号处理电路,并通过对实际制作的两维微机械气体摆式加速度计和倾角传感器样机进行测试。结果表明,在±7 g和±25°时,两维微机械加速度计和微机械倾角传感器的非线性度均小于1%FS。
- 张福学赵启凤岳萍郭亨
- 关键词：微机械加速度计倾角传感器
