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张少婧

作品数：19 被引量：57H指数：4
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇期刊文章
  • 7篇专利
  • 3篇学位论文

领域

  • 6篇机械工程
  • 5篇电子电信
  • 3篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程

主题

  • 9篇离子束
  • 7篇聚焦离子束
  • 6篇刀具
  • 3篇原子力显微镜
  • 3篇微加工
  • 3篇铣削
  • 3篇加工参数
  • 3篇光流
  • 3篇MEMS
  • 3篇超精
  • 3篇超精密
  • 2篇电子束
  • 2篇形变
  • 2篇塑性
  • 2篇塑性形变
  • 2篇图像
  • 2篇图像处理
  • 2篇图形发生器
  • 2篇浓硫酸
  • 2篇频闪

机构

  • 14篇天津大学
  • 5篇清华大学
  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇武汉材料保护...

作者

  • 19篇张少婧
  • 10篇徐宗伟
  • 9篇房丰洲
  • 5篇邵天敏
  • 4篇刘大猛
  • 4篇王惠
  • 4篇刘佳琛
  • 3篇胡小唐
  • 2篇陈耘辉
  • 2篇李建明
  • 2篇韩涛
  • 2篇韩涛
  • 1篇商宏飞
  • 1篇魏桂爽
  • 1篇兀伟
  • 1篇程颖
  • 1篇董申
  • 1篇栗大超
  • 1篇胡晓东
  • 1篇张效栋

传媒

  • 2篇现代制造工程
  • 2篇天津大学学报
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇电子显微学报
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇中国材料进展

年份

  • 4篇2013
  • 2篇2012
  • 4篇2010
  • 5篇2009
  • 1篇2008
  • 3篇2006
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
纳米管探针机械性能在纳米表征中的优势研究被引量：4
2009年
碳纳米管探针是原子力显微镜新一代探针,在纳米表征领域有重要的应用价值。本文系统的研究了碳纳米管原子力显微镜探针和普通硅探针的机械性能对探针表征能力的影响。通过对比两种探针的耐磨损实验及对小鼠IgG蛋白成像研究发现,碳纳米管探针具有良好的弹性弯曲能力,耐磨损,而且能显著减小成像时对柔软的生物样品的损伤。发现纳米管探针具有很好的塑性,利用聚焦离子束的照射可以精确优化纳米管探针的角度,解决了碳纳米管探针角度精确调控的技术瓶颈,充分发挥纳米管探针的高分辨率优势。
徐宗伟张少婧房丰洲董申陈耘辉
关键词：原子力显微镜柔韧性角度控制聚焦离子束
基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备被引量：7
2010年
提出了一种利用聚焦离子束(FIB)技术的铣削功能制备微细切削刀具的方法,通过设置恰当的离子束参数及精确控制刀具的不同刀面相对离子束的位置,可以获得具有高精度特征尺寸、锋锐刃口且复杂形状的微刀具.被加工刀具的典型特征尺寸为5～50,μm,可加工各种不同截面形状的微刀具.对硬质合金材料的毛坯进行FIB铣削,获得了宽度为7.65,μm、刃口半径小于30,nm的矩形微刀具.通过在超精密车床上进行加工试验,结果表明,FIB铣削的微刀具具有很好的加工性能.
张少婧徐宗伟房丰洲胡小唐
关键词：聚焦离子束微加工超精密加工
基于光流技术的MEMS平面微运动特性的测量
随着微机电系统(MEMS)从研究阶段逐渐步入产业化阶段,对测试技术的需求越来越迫切,特别是MEMS动态测试技术,因其能够测量MEMS三维运动,分析MEMS动态特性、材料特性以及机械力学参数等关键数据,已成为MEMS测试技...
张少婧
关键词：微机电系统光流图像处理频闪
文献传递
聚焦离子束技术制造金刚石切削具的研究
2013年
概述了基于聚焦离子束（Focused Ion Beam，FIB）加工技术制备金刚石切削刀具的相关研究进展，并介绍了金刚石刀具在超精密加工领域的研究背景及其制造现状。作为一种先进的微纳制造技术，聚焦离子束已在微尺度金刚石刀具制造研究中发挥了重要作用。针对金刚石刀具的刃口半径、刃形精度等核心参数，国内外相关研究者开展了聚焦离子束制造方法与工艺优化研究，实现了高质量刀具的制造，聚焦离子束加工可获得刃口半径为15～22nm的金刚石刀具制造。从微观切削基础和微纳光学元件制造两个角度，论述了聚焦离子束制造金刚石刀具的应用研究进展，介绍了其在纳米切削机理、微纳尺度光学元件制造中的应用。最后从提高FIB制造效率、应用研究拓展等角度，对该领域未来的发展进行了展望。
徐宗伟兀伟张少婧赵兵
关键词：聚焦离子束超精密加工金刚石刀具
基于聚焦离子束铣削的复杂微纳结构制备被引量：13
2009年
聚焦离子束铣削是一种灵活且高精度的微加工方法,探索通过聚焦离子来铣削进行复杂微纳米结构的加工过程.通过聚焦离子束铣削加工,利用灰度值精确控制离子束加工时间,实现闪耀光栅以及正弦结构等复杂微纳结构的加工过程.同时,利用聚焦离子束对原子力显微镜纳米管探针的长度进行高精度调控,其长度控制精度可以小于50nm.聚焦离子束铣削技术为制备在各种科学工程领域应用的多种复杂微结构提供了有效途径.
徐宗伟房丰洲张少婧韩涛李建明
关键词：聚焦离子束微加工铣削原子力显微镜
一种利用化学腐蚀法制备微细光纤的方法
本发明涉及一种利用化学腐蚀法制备微细光纤的方法，包括以下步骤：设置一包括有超声波清洗机、放置有浓硫酸溶液的容器、放置有去离子水的容器和放置有氢氟酸溶液的容器的制备微细光纤的装置，对待处理的光纤的外树脂包层进行腐蚀处理将去...
邵天敏刘佳琛王惠刘大猛张少婧
文献传递
一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法
本发明涉及一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法，包括以下步骤：对原始光纤进行预处理；将预处理后的光纤的固定在聚焦离子束系统的样品台上，调整样品台的方位，使聚焦离子束系统的离子束出射方向垂直于光纤的中心轴，启动聚焦离子...
邵天敏张少婧刘佳琛王惠刘大猛
采用微刀具的菲涅耳器件超精密制造方法被引量：3
2010年
菲涅耳器件是红外传感器等领域不可或缺的高性能光学元件。其高效和高精度的制造方法是目前研究的重点。文中借助单点金刚石切削技术实现菲涅耳器件加工,采用半圆头型刀具有效减小不可切削区域,并基于聚焦离子束微加工方法进行微刀具制备。对所提出方法的关键技术和制造工艺进行了详细论述。对不同应用领域的两类菲涅耳器件进行加工实验,并建立光学测试平台进行光学性能分析,实验结果表明:所提出的方法可满足菲涅耳器件的应用需求。
张效栋房丰洲程颖徐宗伟张少婧魏桂爽
关键词：超精密车削
基于光流技术MEMS平面微运动特性的测量被引量：2
2006年
实现MEMS动态测试技术中平面微运动特性的测量,关键是记录MEMS运动过程中的瞬间运动状态,并恢复MEMS面内的运动历程．为此,介绍了光流技术,并提出利用邻域优化法进行微结构运动的光流计算．组建了基于频闪成像的MEMS平面运动测试系统,通过该系统获得MEMS谐振器周期运动不同相位下的清晰图像序列．利用邻域优化计算该图像序列的光流,选取合适的邻域大小和阈值,得到了MEMS谐振器在特定驱动频率下的运动幅度-相位图及其拟合曲线,从而获得微谐振器在此驱动频率下的运动幅度值为2．12μm．实验结果表明,该方法是准确有效的．
张少婧胡晓东栗大超胡小唐
关键词：光流运动特性
应用聚焦离子束/电子束技术的碳纳米管探针制备工艺研究被引量：2
2010年
提出利用电子束诱导铂沉积和聚焦离子束铣削技术,实现碳纳米管原子力显微镜探针针尖的制备和结构优化研究。结合高分辨率扫描电子显微镜观测和纳米操纵仪,利用电子束诱导铂沉积实现碳纳米管固定到普通原子力显微镜探针末端,可实现直径小于10nm的纳米管探针制备。提出基于聚焦离子束铣削和照射技术实现对纳米管针尖的长度、角度的精确调控优化,纳米管探针的角度调控精度优于1°。
韩涛徐宗伟房丰洲张少婧
关键词：原子力显微镜聚焦离子束
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