- 新型冲击驱动器及其在扫描隧道显微镜中的应用被引量：8
- 2005年
- 提出了一种基于压电陶瓷的新型冲击式微位移驱动器,该驱动器利用摩擦力和惯性原理使目标产生步进式的微位移。其特点是最小位移可达几纳米,并在几纳米至几微米之间连续可调,运动范围几乎不受限制,具有实用的运动速度,系统结构简单,操作与控制方便,因而可能在微纳米技术中得到广泛应用。阐述了该驱动器的工作原理和机构设计,给出了它在扫描隧道显微镜中用于探针—样品间的自动定位控制的应用实例,得到了理想的结果。
- 马尚行章海军施洋
- 关键词：扫描隧道显微镜定位控制
- 新型大扫描范围原子力显微镜的研究被引量：9
- 2004年
- 研制了一种大扫描范围原子力显微镜(AFM)。设计了新的扫描驱动电路,使单幅图像的扫描范围大幅度提高;用步进电机和扫描器配合扫描,得到序列图像,序列图像拼接后获得大范围样品图像。实验结果表明,采用这一方法,在±150V 的电压驱动下,AFM 的扫描范围可增大到10 ìm?1 mm 的量级,同时保持 1 nm 量级的测试分辨力。
- 施洋章海军
- 关键词：原子力显微镜控制系统
