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梁家富

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学环境科学与工程学院建筑环境与设备工程系更多>>
相关领域：自动化与计算机技术建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇建筑科学

主题

  • 2篇微环境
  • 1篇压力梯度
  • 1篇数值模拟
  • 1篇气流组织
  • 1篇气流组织模拟
  • 1篇值模拟

机构

  • 2篇华中科技大学

作者

  • 2篇梁家富
  • 1篇徐玉党

传媒

  • 1篇制冷与空调（...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
影响SMIF微环境中气流状态因素的探讨
2007年
在洁净室中应用SMIF微环境技术可以有效减少气体微粒,并实现硅片同工作人员及工艺设备的相互隔离。本文主要论述气流对微粒运动的影响,在微环境SMIF系统中的气流状况,以及影响微环境中的气流因素进行分析。
梁家富徐玉党
关键词：微环境
工业洁净室的微环境气流组织模拟
随着人们生活水平的不断提高，洁净技术广泛应用于医疗、微生物、微电子技术等对环境要求相当高的行业。半导体技术也对洁净技术提出更高要求，传统的洁净室已不能满足当今洁净环境的要求，洁净室特别是高级别的其初投资大，运行管理费用高...
梁家富
关键词：气流组织数值模拟压力梯度
文献传递
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