王顺权
- 作品数：6 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
- 偏振光栅自成像效应
- 2006年
- 中国科学院上海光学精密机械研究所周常河课题组发现了高密度光栅的偏振自成像效应。该效应显示在光栅周期接近光波波长时，入射光偏振态的改变将导致不同的光栅自成像。
- 周常河陆云清王顺权王博
- 关键词：光波波长光栅周期入射
- 高效率熔融石英光栅的设计和制作
- 本文介绍了一种用于密集波分复用系统的深刻蚀高密度熔融石英光栅的设计和制作过程。感应耦合等离子体刻蚀技术(ICP)被用来制作这种高效率的熔融石英光栅。所制作的光栅在1550nm波长的实测效率达到了87.1％，并且具有偏振依...
- 王顺权周常河茹华一张妍妍
- 关键词：波分复用光学器件刻蚀技术
- 文献传递
- 高密度深刻蚀熔融石英光栅的设计与制作
- 微结构光学是一门属于多门前沿学科交叉领域的新兴学科。近年来，成熟的微电子工艺技术也被用于微光学元件的加工中，并且取得了很大的成功。感应耦合等离子刻蚀工艺是微电子工艺中用来在半导体，介质膜和金属导电层上得到各种图形的一种高...
- 王顺权
- 关键词：微光学
- 深刻蚀高密度熔融石英光栅被引量：2
- 2006年
- 深刻蚀高密度熔融石英光栅是一种新型高效的衍射光学元件,具有衍射效率高、成本低、抗损伤,能在高强度激光条件下工作等优点。给出了利用感应耦合等离子体(ICP)技术制作熔融石英深刻蚀光栅的详细过程,并在一定的优化条件下制作了一系列不同周期、开口比和深度的高质量深刻蚀石英光栅。实验得到的最大刻蚀深度为4μm,并且在600 l/mm的高密度条件下得到了刻蚀深度为1.9μm的高深宽比石英光栅。光栅侧壁陡直,表面平整,没有聚合物沉积。所制作的熔融石英光栅元件在高强激光环境、光谱仪、高效滤波器和波分复用系统等领域中有非常广泛的用途。
- 王顺权周常河茹华一张妍妍
- 关键词：光栅深刻蚀感应耦合等离子体熔融石英
- 感应耦合等离子体技术用于熔融石英表面凹凸光栅的刻蚀被引量：7
- 2004年
- 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是一种新的干法刻蚀技术,具有刻蚀速率高和各向异性刻蚀等优点,并且能够独立控制等离子体密度和自偏置电压。然而,在利用这种技术进行刻蚀的过程中,经常会发生聚合物的沉积,从而阻碍了刻蚀过程的继续。我们报道了在熔融石英表面刻蚀光栅时不产生聚合物沉积的技术,给出了优化参数。所制作的熔融石英普通光栅和600线／mm的高密度光栅的表面很干净,没有聚合物沉积。光栅衍射效率的实际测量值和预期的理论值吻合得很好。最后还研究了ICP技术的刻蚀速度,刻蚀均匀性和过程可重复性等参数。
- 王顺权周常河茹华一张妍妍
- 关键词：光栅衍射刻蚀速率等离子体密度各向异性刻蚀感应耦合等离子体熔融石英
- 新型微结构光栅及复制技术
- 周常河刘景全李以贵唐晓宁茹华一郭凌伟戴恩文王顺权张妍妍李国炜刘文军周素梅王伟罗红心陆云清底彩慧邹华顾盼孙洪文
- 该项目完成的新型微结构光栅及复制技术，取得了一系列重要进展，申请了20项专利技术，相应的研究结果主要在国际一流刊物上发表，所突破的关键技术可以加工出有用的微结构光栅器件，利用这些光栅器件发展出具有自主知识产权的仪器，将有...
- 关键词：
- 关键词：光栅
