申路
- 作品数：4 被引量：4H指数：2
- 供职机构：佛山科学技术学院机电与信息工程学院机电工程系更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于白光干涉术的微器件三维表面形貌恢复研究被引量：2
- 2012年
- 白光干涉测量技术是光学测量中一种非常重要的方法。介绍了白光干涉测量的原理及系统构成,提出了基于局部峰点插值提取白光干涉信号包络的算法。对局部峰点插值提取包络算法的实现和数据处理的过程进行了讨论,得到了清晰的三维表面形貌图像。
- 申路王宇华杨永强
- 关键词：白光干涉三维表面形貌
- 基于白光干涉原理的MEMS三维表面形貌测量技术研究
- 微机电系统测试的主要目的是为科学研究与产品开发提供数据反馈，其中一个重要的方面是三维表面形貌测量，随着微机电系统的发展，对检测技术提出了更高的要求。白光干涉测量技术相对于传统的三维表面形貌测量技术，具有量程大、非接触、灵...
- 申路
- 关键词：微机电系统三维表面形貌滤波
- 基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测
- 2013年
- 将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中,该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点,水平分辨力为亚微米级,垂直分辨力可以达到纳米量级,并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸。研究结果表明,垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检测,满足设计中提出的精度要求。
- 傅贵武申路王宇华
- 关键词：白光干涉微齿轮
- MEMS器件的白光干涉测量
- 2014年
- 白光干涉测量法适用于MEMS器件的三维表面形貌测量。通过Matlab仿真,讨论了在局部峰点插值法中采用三次样条插值的优势,从测量速度、测量精度、抗噪能力和扫描步距等方面对局部峰点插值法与傅立叶变换滤波法、希尔伯特变换法、小波变换法进行比较。最后经过中值滤波预处理、局部峰点插值法处理后,得到器件的三维表面形貌。
- 王宇华权成根申路
- 关键词：微机电系统白光干涉三维表面形貌
