赵飞云
- 作品数:24 被引量:39H指数:3
- 供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:核科学技术机械工程一般工业技术理学更多>>
- 大曲率弧矢弯曲复合晶体的研制被引量:2
- 2010年
- 为提升国家同步辐射实验室X射线吸收精细结构(NSRL-XAFS)的光束线性能,提出将现有双平面晶单色器改造成弧矢聚焦双晶单色器的思想。采取将晶体与钛合金复合的工艺,实现了晶体的大曲率弹性弯曲,并将其用作弧矢聚焦晶体单色器中第二晶体的成像元件。鉴于NSRL-XAFS实验的光学要求,设计制作了复合晶体试验模型,通过有限元分析计算和长程面形仪实际测量得到了不同弯曲半径下晶体的面形精度,并用激光模拟其聚焦性能。结果表明,在缩放比为1/3时,样品上的成像束斑水平尺度(FWHM)由43mm(无聚焦)缩小到3mm,光子密度提高了近一个量级。这些结果满足NSRL在现有光源条件下提升XAFS数据采集质量的要求。
- 李中亮康乐赵飞云程显超徐朝银
- 关键词:复合晶体衍射
- 同步辐射储存环用国产溅射离子泵的发展方向被引量:3
- 1999年
- 根据真空系统运行条件,参考国内外SIP,拟订了同步辐射储存环用国产SIP的性能指标。结合SIP的机理和国际测试标准,对指标作了分析说明,以期加深国内真空泵厂对改进SIP必要性的认识,统一厂方和用户对指标的理解,在真空界推行公正的竞争,促进国产SIP质量的提高和走向国际市场。
- 蒋迪奎殷立新赵飞云
- 关键词:溅射离子泵性能指标储存环
- NSRL-XAFS光束线弧矢聚焦双晶单色器设计被引量:4
- 2006年
- 针对XAFS光束线能量动态扫描的实验特点,介绍了弧矢聚焦双晶单色器的物理设计:包括晶体光学结构、性能参数计算、晶体热载分析和弧矢弯曲原理.弧矢缩比选择为1∶4.88,水平接收角由原来的1 mrad拓宽到3 mrad,在不改变基本配置的情况下,获得了样品上束斑缩小、光子通量高达半个量级以上的增益.
- 凤良杰董晓浩高飞康乐赵飞云徐朝银
- 关键词:光束线能量分辨率
- 真空管道自体溅射镀TiN膜研究
- 本文详细介绍了长真空管道内表面直流溅射镀TiN膜技术和成膜系统配置。首先提出真空管道自体真空镀膜新概念,采用特殊的阴极靶结构设计成功的解决了长管道内表面直流溅射镀膜的难题。在真空管道内壁获得了均匀的、高品质的TiN膜层,...
- 王勇尉伟张耀锋王建平范乐赵飞云
- 关键词:TIN膜辉光放电
- 文献传递
- 螺旋型波荡器辐射特性及光束线前置镜热载分布被引量:1
- 2011年
- 对合肥国家同步辐射实验室(NSRL)引进、装备的螺旋型电磁波荡器进行了改造和性能研究,该螺旋型电磁波荡器被插入电子储存环的直线段,来产生高通量圆偏振相干光,提供一条真空紫外光束线,用于燃烧科学研究。基于NSRL改造后的光源参数,分析其同步辐射偏振特性,计算了该波荡器辐射出的总功率和功率密度分布,以及受其直接辐照的光束线前置环面镜的热载、温度场和由此导致的光学镜面面形误差。研究结果表明,在燃烧实验要求的光子能量范围内,聚焦镜在光束照射镜面内的热变形都不超过2μm,最大面形误差约为1μrad,能满足实验要求。
- 程显超李中亮赵飞云徐朝银
- 关键词:功率密度热分析面形误差
- 大型离子束刻蚀机工作台扫描基准和台面热载的有限元分析
- 本文介绍了用有限元法分析计算大型离子束刻蚀机的工作台扫描基准(真空室)的形变和工作台面的热载及受热形变,选择了合理的设计方案和补偿措施.
- 高飞董晓浩黄志刚赵飞云徐朝银
- 关键词:离子束刻蚀机有限元法结构应力热应力
- 文献传递
- 曲面切槽晶体单色器设计被引量:1
- 2007年
- 讨论了曲面切槽单色器的工作原理,并依据合肥光源上的XAFS光学参数,设计加工出晶体的切槽曲面,测量了曲面的形位误差,进而分析了曲面加工、定位误差以及入射光的束宽对单色器分光性能的影响.在测量所得的加工误差下,考虑由于束流宽束给衍射性能造成的影响,计算了实际晶体相对于理想晶体的理论衍射效率.计算结果证明该晶体单色器完全适用于合肥光源的XAFS光学系统.
- 康乐董晓浩凤良杰李中亮赵飞云徐朝银
- 关键词:晶体单色器
- 条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)被引量:2
- 2007年
- 针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%均匀性的较好结果.刻蚀实验表明40 cm长度范围刻蚀深度均匀性为±5.4%,同时具有较好的束流稳定性.添加束阑,并结合掩模修正束流,会得到更好的束流密度与刻蚀深度均匀性.
- 董晓浩刘颖赵飞云徐德权徐向东周银贵汪啸姚传荣洪义麟付绍军徐朝银
- 关键词:离子束刻蚀机
- 合肥光源超导wiggler前端区被引量:2
- 1999年
- 对合肥光源插入元件超导wiggler的前端区进行了系统介绍 ,其中包括前端区的结构和功能、真空系统以及真空联锁保护与控制系统。
- 赵飞云徐朝银吴冠原赵伟昌潘国强徐军王峰
- 关键词:前端
- NSRL前端活动水冷光屏的结构及热分析
- 2003年
- 活动水冷光屏是光束线前端的重要部件,主要用来吸收高强度的同步辐射功率、承受和释放热负载,保护其下游位置仪器设备免遭热载破坏。介绍中国科学技术大学国家同步辐射实验室(NSRL)的合肥同步辐射光源(HLS)光束线前端活动水冷光屏的结构,利用有限元分析程序ANSYS5.5进行热力学分析,确认其合理性。
- 赵飞云王纳秀徐朝银王秋平
- 关键词:前端热分析