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钱智勇
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供职机构:
复旦大学
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相关领域:
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合作作者
王家楫
复旦大学
陈一
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倪锦峰
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中国集成电路
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深亚微米 Flash NVM IC 单元结构及相关微分析技术研究
钱智勇
关键词:
深亚微米
集成电路
闪速存储器
先进IC封装的分析技术
2002年
本文对微电子FC、BGA、COB、TAB、MCM、CSP等几种先进的封装技术进行了概述,介绍了封装材料、工艺及失效分析的工具和方法。
王家楫
钱智勇
关键词:
芯片尺寸封装
分析技术
封装技术
硅芯片
封装形式
微电子器件
深亚微米Flash NVMIC单元结构的电子显微分析
2005年
随着集成电路特征尺寸的不断缩小,器件结构越来越复杂,应用电子显微分析技术对IC的特定部位进行高空间分辨率的微结构分析,已成为IC新产品、新结构设计,新工艺开发和芯片生产质量保证的重要手段.结合深亚微米IC结构电子显微分析所涉及的FIB定位制样和TEM高分辨成像等关键技术的讨论,分析了一种新型的分立栅结构的深亚微米非挥发性闪烁存储器集成电路芯片(FlashNVMIC)的微结构特征,并从结构角度比较了其与堆叠栅结构FlashIC的性能.
钱智勇
倪锦峰
陈一
王家楫
关键词:
深亚微米
电子显微分析
特征尺寸
NVM
FIB
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