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丛鹏

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 2篇射频
  • 2篇滤波器
  • 1篇电路
  • 1篇多孔硅
  • 1篇射频集成
  • 1篇射频集成电路
  • 1篇射频滤波器
  • 1篇体声波
  • 1篇体声波滤波器
  • 1篇自支撑
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微机械
  • 1篇牺牲层
  • 1篇滤波器设计
  • 1篇集成电路
  • 1篇硅表面
  • 1篇RF-MEM...

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇丛鹏
  • 3篇刘理天
  • 2篇任天令
  • 2篇刘燕翔
  • 1篇李志坚
  • 1篇丁勇
  • 1篇刘泽文

传媒

  • 1篇压电与声光
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第五届全国微...

年份

  • 1篇2002
  • 2篇2001
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
利用多孔硅牺牲层技术制作悬浮薄膜结构研究
提出了一种将多孔硅牺牲层应用于制作悬浮薄膜结构的方案.采用专用容器在不同浓度的HF溶液生成了多孔硅,并对其质量进行了比较.高浓度的HF溶液中阳极氧化生成的多孔硅孔隙小、容易被碱性溶液腐蚀,适合于作牺牲层材料.采用TMAH...
丁勇刘泽文丛鹏刘理天李志坚
关键词：微机械多孔硅牺牲层RF-MEMS射频集成电路
文献传递
具有自支撑三明治结构的射频滤波器设计
现有体声波滤波器基本采用体硅加工技术.本文采用表面硅加工工艺和牺牲层技术制作体声波滤波器.利用多孔硅作为牺牲层,形成不需支撑膜的由上层金属电极,压电材料和下层金属电极构成的自支撑的三明治结构.避免了支撑膜对滤波器的影响....
丛鹏刘燕翔任天令刘理天
关键词：射频滤波器
文献传递
基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究被引量：4
2002年
计算并讨论了由电极 -压电薄膜 -电极的三明治结构组成的体声波谐振器在有衬底情况下的阻抗 ,特别说明了厚的支撑膜对滤波器性能的严重影响。同时比较了在制作体声波滤波器时硅的体加工工艺和表面加工工艺的优劣 。
丛鹏刘燕翔任天令刘理天
关键词：滤波器微电子机械系统体声波射频
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