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廖清君
廖清君
作品数:
83
被引量:114
H指数:6
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
中国科学院知识创新工程
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
航空宇航科学技术
理学
化学工程
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合作作者
胡晓宁
中国科学院上海技术物理研究所
叶振华
中国科学院上海技术物理研究所
林春
中国科学院上海技术物理研究所
丁瑞军
中国科学院上海技术物理研究所
何力
中国科学院上海技术物理研究所
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廖清君
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叶振华
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丁瑞军
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2010
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2008
3篇
2007
1篇
2006
3篇
2005
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基于超表面的红外彩色探测器
本专利公开了一种基于超表面的红外彩色探测器,通过在红外探测器上方放置一个用超表面制作的阶梯光栅阵列,使红外光在透过超表面阵列后发生衍射,在不同方向角上分成短、中、长波红外光,然后照射到能够探测不同波段的红外探测器上,将红...
叶振华
王进东
廖清君
刘棱枫
崔爱梁
张伟婷
孙渟
丁瑞军
何力
文献传递
一种碲镉汞薄膜的少子扩散长度测量方法
本发明涉及一种碲镉汞薄膜的少子扩散长度测量方法,包括:设计具有不同数量、不同形状像元阵列;在碲镉汞薄膜材料上制备像元阵列并引出到测试管脚;在均匀入射光下,利用测试管脚测量全部阵列的总光电流;计算像元阵列扩展后的总载流子收...
叶振华
李辉豪
孙常鸿
王进东
廖清君
陈燕
李媛媛
吴昊
一种低损伤埋结式碲镉汞探测器芯片
本发明公开了一种低损伤埋结式碲镉汞探测器芯片,它包括衬底,碲镉汞p型外延薄膜,离子注入n型区,钝化层,n型区电极,p型区电极,铟柱阵列,它涉及光电探测器件技术。本发明采用将p‑n结制备至碲镉汞材料腐蚀坑内部的结构方案,使...
胡晓宁
张姗
樊华
廖清君
叶振华
林春
丁瑞军
何力
文献传递
一种碲镉汞红外焦平面探测器的失效分析方法
本发明公开了一种碲镉汞红外焦平面探测器的失效分析方法。先将碲镉汞红外焦平面探测器中的碲镉汞红外光敏芯片与读出电路用切割的方式进行分离,通过宝石电极基板对碲镉汞红外光敏芯片进行电流电压测试;保护不需要观测的结构,对碲镉汞红...
廖清君
刘丹
钟艳红
林春
胡晓宁
可见/近红外超光谱碲镉汞焦平面研究
被引量:1
2019年
为了满足可见-近红外波段的高光谱分辨率和高灵敏观测需求,采用大面阵、低噪声碲镉汞焦平面制备技术和低损伤衬底去除技术,成功制备了高信噪比大面阵可见/近红外碲镉汞焦平面探测器。无损衬底去除技术采用机械抛光和化学腐蚀相结合的方法,使焦平面的响应波段拓展至400 nm~2 600 nm。采用信号定量化焦平面测试评价手段对可见/近红外碲镉汞焦平面的性能进行评估,640×512 25μm中心距碲镉汞焦平面的波段量子效率可达到88.4%,信噪比达到287,有效像元率大于98%,能够获得清晰的可见和近红外波段图像。
张姗
沈益铭
刘丹
钟艳红
魏彦锋
廖清君
陈洪雷
林春
丁瑞军
丁瑞军
关键词:
碲镉汞
量子效率
航天长波红外焦平面组件技术
何力
丁瑞军
林春
张勤耀
杨建荣
胡晓宁
廖清君
王小坤
权利
魏彦锋
孙士文
王建新
陈路
曹妩媚
朱建妹
该项目属信息技术领域,通过研制新一代红外对地观测急需的长波红外焦平面组件,满足各领域对航天红外遥感的高灵敏度和高分辨率需求。8-12.5微米长波红外波段是室温目标红外辐射能量最大的谱段,也是主要的大气透过窗口。因此海洋、...
关键词:
带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法
本发明公开了一种带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法,该探测器,包括:红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和增透会聚微镜列阵。所说的增透会聚微镜列阵是由红外光敏元列阵芯片的衬底背面生长一增透膜,通过常规...
叶振华
周文洪
廖清君
胡晓宁
王晨飞
丁瑞军
文献传递
一种制备Si基碲镉汞芯片位错观察样品的衬底腐蚀液
本发明公开了一种制备Si基碲镉汞芯片位错观察样品的衬底腐蚀液。它由有机碱溶液四甲基氢氧化铵、去离子水和氧化剂过硫酸铵配制而成。首先将四甲基氢氧化铵溶液与去离子水配置成浓度为5%~20%的混合溶液,再根据混合液的体积加入1...
张姗
林春
廖清君
胡晓宁
叶振华
文献传递
碲镉汞材料p-n结结深的测量方法
本发明公开了一种碲镉汞材料p-n结结深的测量方法,该方法包括样品的腐蚀,导电类型的测量和台阶高度的测量。其步骤是:利用腐蚀液对碲镉汞样品逐次腐蚀,逐层剥离,每腐蚀一次便进行一次导电类型的测量,导电类型的测量采用温差电动势...
张海燕
胡晓宁
叶振华
廖清君
李言谨
文献传递
一种用于光伏型碲镉汞探测器的延展电极及制备方法
本发明公开了一种用于光伏型碲镉汞探测器的延展电极及制备方法。本发明中的电极为一种延展电极,该电极将pn结注入区的电极延展至非注入区的复合钝化层表面。该方法采用负性光致抗蚀剂光刻后获得顶部大底部小的光刻胶台面,利用薄膜生长...
廖清君
胡晓宁
马伟平
邢雯
陈昱
林春
王建新
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