张敏亮
- 作品数：4 被引量：15H指数：2
- 供职机构：北方工业大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- ZnO压电薄膜压力传感器的研究
- 随着科学技术的发展,对传感器功能的要求也越来越高。采用MEMS工艺制作的ZnO压电薄膜压力传感器,具有体积小、易集成、灵敏度和信噪比高等优点。但是复合微悬臂梁式传感器制备工艺较难,各层薄膜工艺存在兼容性问题。本文主要对Z...
- 张敏亮
- 关键词：微压力传感器ZNO压电薄膜磁控溅射
- ZnO压电薄膜微悬臂梁的结构设计及研究
- 2013年
- 当压力作用在ZnO压电薄膜微悬臂梁上时,产生电荷量的大小将直接决定压电传感器灵敏度的高低。根据等效截面法,推导了复合微悬臂梁所受的作用力与其产生电荷量的关系方程,为传感器标定和力的测量提供理论依据,并依据此转换方程,对压电微悬臂梁的结构尺寸进行比较分析,以提高传感器的灵敏度和分辨率。此研究为压电微悬臂梁压力传感器的结构优化设计提供了一定的参考。
- 张敏亮谭晓兰王峰
- 关键词：微压力传感器微悬臂梁ZNO薄膜
- 压阻式微压力传感器结构参数设计被引量：5
- 2013年
- 在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上,根据传感器的灵敏度与线性度特点,设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器。在满足计算要求的条件下,对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真;并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值。仿真结果表明,该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值。
- 王峰谭晓兰张敏亮
- 关键词：微压力传感器灵敏度线性度ANSYS仿真可靠性
- 硅压阻式传感器的优化分析被引量：8
- 2011年
- 硅压阻式微传感器的压力灵敏度除与硅膜片的厚度、大小、压敏电阻阻值大小有关外,还与电阻在硅膜片的分布方位及在硅膜片上的位置有关.本文讨论了压敏电阻构成的电桥电路其输出电压灵敏度与电阻所处位置和方向的关系,求出传感器的压力灵敏度极值及其条件,并讨论了电阻的纵向压阻系数和横向压阻系数与方向的关系,并求出其极值.
- 杨峻松谭晓兰刘珍妮张敏亮王峰
- 关键词：压力传感器晶向
