林崴
- 作品数:10 被引量:0H指数:0
- 供职机构:复旦大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术电子电信更多>>
- 硅纳米晶光学常数随温度变化特性研究
- 本文自行研制了一套可控变温样品室装置,对硅纳米晶薄膜进行加热实验,并基于洛伦兹色散模型,对实验获得的椭偏参数进行拟合,得到不同温度下的nc-Si和SiO2的复合层折射率随温度的变化关系。实验结果表明镶嵌在二氧化硅中的硅纳...
- 林崴郑玉祥蔡清元张冬旭吴康宁张荣君陈良尧
- 关键词:光学性质温度效应
- 一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法
- 本发明属于温度测量技术领域,具体为一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法。本发明利用椭偏仪测量被测薄膜的折射率谱线与标准折射率谱线,将两者比较,采用最小二乘法得到最佳匹配曲线,从而根据标准谱线所对应的温度值得到被测薄膜的温度值...
- 张荣君郑玉祥陈良尧张帆林崴耿阳卢红亮
- 薄膜生长在位监控研究进展
- 在薄膜的生长工艺中,如何在位实时获取薄膜的厚度,一直是人们关注的问题。目前,比较成熟的方法有石英晶体振荡法和光学监控方法。作为一种直接非破坏的在位监控方法,光学监控方法具有广泛的应用前景。本工作是基于单波长监控原理和宽光...
- 张冬旭郑玉祥蔡清元陆卫杰林崴吴康宁张荣君陈良尧
- 文献传递
- 硅纳米晶光学常数随温度变化特性研究
- 硅纳米晶(nc-Si)薄膜是一种由大量硅细微晶粒(几个nm大小)和包围着这些晶粒的晶间界面组成的纳米电子材料。镶嵌在SiO中的nc-Si晶粒的光学性质既不同于大块体硅,也不同于连续的纳米量级硅薄膜。本文自行研制了一套可控...
- 林崴郑玉祥蔡清元张冬旭吴康宁张荣君陈良尧
- 关键词:薄膜光学硅纳米晶
- 文献传递
- 尺寸可控硅纳米晶的变温椭圆偏振光谱研究
- 硅是一种非常重要的半导体材料,在电子工业的应用和发展中具有不可替代的地位。但由于硅是一种间接带隙材料,发光效率极低,为丰富其在光电子领域的应用,提高硅基材料的发光量子效率成为了众多科学家们努力的目标。其中硅纳米晶(nc-...
- 林崴
- 关键词:硅纳米晶椭圆偏振光谱
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- 尺寸可控硅纳米晶的光学常数和禁带宽度研究
- 俞翔张荣君徐子杰林崴赵海斌郑玉祥陈良尧
- 关键词:硅纳米晶光学常数禁带宽度
- 尺寸可控硅纳米晶的光学常数和禁带宽度研究
- 自从Canham观察到室温下多孔硅的发光现象以来,低维硅材料因其良好的发光性能引起了广泛的关注和研究。特别是硅纳米晶具有结构稳定、价格低廉,且制备方法能与现有集成电路工艺相兼容等优点,因而成为硅基光电子器件研究的热点。目...
- 俞翔张荣君徐子杰林崴赵海斌郑玉祥陈良尧
- 关键词:硅纳米晶光学常数禁带宽度
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- 一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法
- 本发明属于温度测量技术领域,具体为一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法。本发明利用椭偏仪测量被测薄膜的折射率谱线与标准折射率谱线,将两者比较,采用最小二乘法得到最佳匹配曲线,从而根据标准谱线所对应的温度值得到被测薄膜的温度值...
- 张荣君郑玉祥陈良尧张帆林崴耿阳卢红亮
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- 薄膜生长在位监控研究进展
- 张冬旭郑玉祥蔡清元陆卫杰林崴吴康宁张荣君陈良尧
- 尺寸可控硅纳米晶的光学常数和禁带宽度研究
- 自从Canham观察到室温下多孔硅的发光现象以来,低维硅材料因其良好的发光性能引起了广泛的关注和研究。特别是硅纳米晶具有结构稳定、价格低廉,且制备方法能与现有集成电路工艺相兼容等优点,因而成为硅基光电子器件研究的热点。目...
- 俞翔张荣君徐子杰林崴赵海斌郑玉祥陈良尧
- 关键词:硅纳米晶光学常数禁带宽度
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