您的位置: 专家智库 > >

林崴

作品数:10 被引量:0H指数:0
供职机构:复旦大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域:理学一般工业技术电子电信更多>>

文献类型

  • 7篇会议论文
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 3篇一般工业技术
  • 3篇理学

主题

  • 6篇硅纳米晶
  • 5篇光学
  • 5篇光学常数
  • 4篇尺寸可控
  • 3篇禁带
  • 3篇禁带宽度
  • 2篇单波长
  • 2篇实时监控
  • 2篇实时温度
  • 2篇谱线
  • 2篇椭偏仪
  • 2篇温度变化
  • 2篇温度测量
  • 2篇温度测量技术
  • 2篇薄膜生长
  • 2篇波长
  • 2篇测量方法
  • 2篇测量过程
  • 2篇测量技术
  • 1篇圆偏振

机构

  • 10篇复旦大学

作者

  • 10篇林崴
  • 9篇陈良尧
  • 9篇郑玉祥
  • 9篇张荣君
  • 4篇蔡清元
  • 4篇吴康宁
  • 4篇张冬旭
  • 3篇徐子杰
  • 3篇俞翔
  • 3篇赵海斌
  • 2篇耿阳
  • 2篇卢红亮
  • 2篇张帆
  • 2篇陆卫杰

传媒

  • 2篇长三角地区科...

年份

  • 3篇2015
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 4篇2011
10 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
硅纳米晶光学常数随温度变化特性研究
本文自行研制了一套可控变温样品室装置,对硅纳米晶薄膜进行加热实验,并基于洛伦兹色散模型,对实验获得的椭偏参数进行拟合,得到不同温度下的nc-Si和SiO2的复合层折射率随温度的变化关系。实验结果表明镶嵌在二氧化硅中的硅纳...
林崴郑玉祥蔡清元张冬旭吴康宁张荣君陈良尧
关键词:光学性质温度效应
一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法
本发明属于温度测量技术领域,具体为一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法。本发明利用椭偏仪测量被测薄膜的折射率谱线与标准折射率谱线,将两者比较,采用最小二乘法得到最佳匹配曲线,从而根据标准谱线所对应的温度值得到被测薄膜的温度值...
张荣君郑玉祥陈良尧张帆林崴耿阳卢红亮
薄膜生长在位监控研究进展
在薄膜的生长工艺中,如何在位实时获取薄膜的厚度,一直是人们关注的问题。目前,比较成熟的方法有石英晶体振荡法和光学监控方法。作为一种直接非破坏的在位监控方法,光学监控方法具有广泛的应用前景。本工作是基于单波长监控原理和宽光...
张冬旭郑玉祥蔡清元陆卫杰林崴吴康宁张荣君陈良尧
文献传递
硅纳米晶光学常数随温度变化特性研究
硅纳米晶(nc-Si)薄膜是一种由大量硅细微晶粒(几个nm大小)和包围着这些晶粒的晶间界面组成的纳米电子材料。镶嵌在SiO中的nc-Si晶粒的光学性质既不同于大块体硅,也不同于连续的纳米量级硅薄膜。本文自行研制了一套可控...
林崴郑玉祥蔡清元张冬旭吴康宁张荣君陈良尧
关键词:薄膜光学硅纳米晶
文献传递
尺寸可控硅纳米晶的变温椭圆偏振光谱研究
硅是一种非常重要的半导体材料,在电子工业的应用和发展中具有不可替代的地位。但由于硅是一种间接带隙材料,发光效率极低,为丰富其在光电子领域的应用,提高硅基材料的发光量子效率成为了众多科学家们努力的目标。其中硅纳米晶(nc-...
林崴
关键词:硅纳米晶椭圆偏振光谱
文献传递
尺寸可控硅纳米晶的光学常数和禁带宽度研究
俞翔张荣君徐子杰林崴赵海斌郑玉祥陈良尧
关键词:硅纳米晶光学常数禁带宽度
尺寸可控硅纳米晶的光学常数和禁带宽度研究
自从Canham观察到室温下多孔硅的发光现象以来,低维硅材料因其良好的发光性能引起了广泛的关注和研究。特别是硅纳米晶具有结构稳定、价格低廉,且制备方法能与现有集成电路工艺相兼容等优点,因而成为硅基光电子器件研究的热点。目...
俞翔张荣君徐子杰林崴赵海斌郑玉祥陈良尧
关键词:硅纳米晶光学常数禁带宽度
文献传递
一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法
本发明属于温度测量技术领域,具体为一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法。本发明利用椭偏仪测量被测薄膜的折射率谱线与标准折射率谱线,将两者比较,采用最小二乘法得到最佳匹配曲线,从而根据标准谱线所对应的温度值得到被测薄膜的温度值...
张荣君郑玉祥陈良尧张帆林崴耿阳卢红亮
文献传递
薄膜生长在位监控研究进展
张冬旭郑玉祥蔡清元陆卫杰林崴吴康宁张荣君陈良尧
尺寸可控硅纳米晶的光学常数和禁带宽度研究
自从Canham观察到室温下多孔硅的发光现象以来,低维硅材料因其良好的发光性能引起了广泛的关注和研究。特别是硅纳米晶具有结构稳定、价格低廉,且制备方法能与现有集成电路工艺相兼容等优点,因而成为硅基光电子器件研究的热点。目...
俞翔张荣君徐子杰林崴赵海斌郑玉祥陈良尧
关键词:硅纳米晶光学常数禁带宽度
文献传递
共1页<1>
聚类工具0