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王文平

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：河北机电学院自动化工程系更多>>
相关领域：经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇经济管理

主题

  • 1篇动态规划
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机

机构

  • 1篇河北机电学院

作者

  • 1篇王文平
  • 1篇刘永强
  • 1篇王彦池

传媒

  • 1篇河北工业科技

年份

  • 1篇1989
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
DSW光刻机中的最短时间自动对准系统
1989年
本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)
王文平刘永强罗培成王彦池
关键词：动态规划
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共1页<1>
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