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王炜鹏

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学材料科学与工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：文化科学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜工艺
  • 1篇织构
  • 1篇金薄膜
  • 1篇基片
  • 1篇溅射
  • 1篇硅基
  • 1篇硅基片
  • 1篇合金
  • 1篇合金薄膜
  • 1篇ZR-TI
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控共溅射

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇谢拯
  • 1篇李正操
  • 1篇王炜鹏
  • 1篇张政军
  • 1篇战鹏

传媒

  • 1篇2012年中...

年份

  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控共溅射Zr-Ti合金薄膜的织构控制研究
采用磁控共溅射镀膜的方法,在不同温度和不同成分的条件下于硅基片上镀制了Zr-Ti二元合金薄膜,利用XRD,FE-SEM,HRTEM&SAD,AFM等分析研究了该体系的织构形成与演变规律,用EDS和ICP-AES测定样品成...
王炜鹏谢拯战鹏李正操张政军
关键词：硅基片
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