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王理明

作品数：18 被引量：6H指数：2
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术生物学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇会议论文
  • 6篇期刊文章
  • 3篇科技成果
  • 2篇专利

领域

  • 8篇电子电信
  • 2篇生物学
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 8篇电子束曝光
  • 5篇生物芯片
  • 4篇曝光机
  • 3篇电子束曝光机
  • 3篇微米
  • 3篇DY
  • 2篇电子束
  • 2篇电子注
  • 2篇收集极
  • 2篇缩小投影电子...
  • 2篇偏转
  • 2篇偏转器
  • 2篇刻蚀
  • 2篇机械结构
  • 1篇电机
  • 1篇电子束曝光系...
  • 1篇型深
  • 1篇亚微米
  • 1篇运动控制
  • 1篇真空器件

机构

  • 18篇中国科学院
  • 2篇中国科学院电...

作者

  • 18篇王理明
  • 7篇张福安
  • 7篇顾文琪
  • 6篇张春野
  • 4篇林云生
  • 3篇吴岚军
  • 3篇高钧
  • 3篇薛虹
  • 2篇唐晖
  • 2篇张今朝
  • 2篇康念坎
  • 1篇潭敏
  • 1篇王启祥
  • 1篇陈志琪
  • 1篇王岩红
  • 1篇靳鹏云
  • 1篇吴桂君
  • 1篇刘鸿
  • 1篇阎剑龙
  • 1篇安秉谦

传媒

  • 3篇微纳电子技术
  • 2篇第二届全国电...
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇电工电能新技...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇'2001全...
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第十一届全国...
  • 1篇"99全国荷...
  • 1篇第九届全国电...

年份

  • 1篇2004
  • 3篇2003
  • 4篇2002
  • 2篇2001
  • 1篇2000
  • 4篇1999
  • 1篇1998
  • 1篇1997
  • 1篇1996
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
生物芯片点样仪
因该产品为固定安装在地面的设备，故省略仰视图。
王理明张春野吴岚军
ＤＹ－７型深亚微米电子束曝光系统的研究
主要介绍深亚微米电子束曝光机的实验研究及各种部件性能指标，并重点论述偏转器的优化设计。
王理明张福安薛虹顾文琪
关键词：电子束曝光机偏转器
文献传递网络资源链接
DY-2001型生物芯片点样仪机械结构的确定
2002年
叙述了DY-2001型生物芯片点样仪机械结构的构想。通过对市场上常见的几个生物芯片点样仪生产厂家产品机械结构进行了解、分析和对比,根据想要达到的精度水平来确定该机机械结构。涉及到了承载玻片数量的确定、玻片台台面面积的有效利用、固定式玻片台的确立等。指出了该结构可能存在的不足以及在借鉴他人成功经验的基础上,使未来的机械结构形式变得更加完善。
张春野王理明林云生
关键词：生物芯片机械结构
纳米级电子束曝光的实验研究
顾文琪王理明
关键词：干法刻蚀半导体工业
电子注分析系统
简要说明了电子注分析系统在超高频真空器件的设计、研究中的重要性，关着重介绍了该系统的构成、指标等。
王理明张福安
关键词：电子注数据采集工件台收集极
文献传递网络资源链接
电子束双偏转扫描系统的设计
镜后偏转系统相比较，透镜前双偏转系统具有可采用较小的工作距离和容易实现电子束垂直着靶等优点，而且通过在两偏转线圈之间设置一个转角可以降低复合磁聚焦偏转系统象差。该文对系统的结构和电气参数对电子光学特性的影响进行了计算机模...
康念坎王理明张福安
关键词：电子束
生物芯片点样仪
一种由三维运动机构、点样机构、支撑机构、自动清洗保湿机构计算机控制机构组成的生物芯片点样仪，主要特征是：设置在三维运动框架结构上的点样头，在X、Y、Z三个方向运动部件上的伺服马达驱动下，通过计算机的全程控制，能够自动完成...
王理明张春野吴岚军
文献传递
0.1微米电子束曝光实验装置的研制
顾文琪张福安王理明薛虹潭敏唐晖陈志琪安秉谦张今朝王启祥卢维美王岩红
“0.1微米电子束曝光及实验装置的研制”是中国科学院“九五”应用研究与发展重大项目。该装置也是我国第一台自行研制的0.1微米电子束曝光机。微电子光刻设备是制造大规模集成电路的先导和基础。在众多的微电子设备中，以电子束...
关键词：
关键词：电子束曝光机光刻技术
生物芯片点样仪
吴岚军王理明张春野闫献勇王珺高钧刘鸿林云生
生物芯片点样仪采用合成点样法直接点样的技术原理。承载玻片和样品盒的平台固定不动，X，Y轴带动点样头作平面运动，Z轴带点样头作上下运动，完成沾样和点样运动。该仪器具有样品种类多，点样精度高，点样稳定性好，制造技术较为成熟，...
关键词：
关键词：生物芯片
电子束曝光机的纳米图形生成技术被引量：2
1996年
电子束曝光机是纳米构图技术的重要途径之一。本文简要说明利用电子束曝光机制作纳米图形的优势及需要解决的问题。
顾文琪王理明
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