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胡智翔
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一种用于氧化镍薄膜化学机械平坦化的纳米抛光液及应用
一种用于氧化镍薄膜化学机械平坦化的纳米抛光液,由纳米研磨料、pH调节剂、表面活性剂、消泡剂、杀菌剂、助清洗剂和溶剂混合组成,纳米研磨料为氧化铈或二氧化硅,pH调节剂由无机pH调节剂和有机pH调节剂组成复合pH调节剂,表面...
张楷亮
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一种含有快速开关器件的阻变型存储器单元及其制备方法
一种含有快速开关器件的阻变型存储器单元,其基本单元由下电极、阻变存储功能层、中间电极、开关器件功能层、上电极和绝缘层构成,两个功能层镶嵌在三个电极之间并形成五叠层结构,三个电极和两个功能层位于绝缘层的孔洞中。本发明的优点...
张楷亮
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王芳
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