谢瑞清
- 作品数:153 被引量:66H指数:5
- 供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程化学工程更多>>
- 光学加工平行金刚石砂轮复合截面轮廓的修整方法
- 本发明提供一种光学加工平行金刚石砂轮中央平直线和两侧边缘圆弧过渡的复合截面轮廓的修整方法,该方法包括以下步骤:1)调整修整器上的修整砂轮的旋转轴与超精密平面磨床竖向Y轴之间的平行度;2)修整砂轮端面研磨修整金刚石砂轮的外...
- 周炼赵世杰袁志刚谢瑞清陈贤华刘民才张清华王健
- 文献传递
- 熔石英磨削砂轮截面轮廓分析与优化被引量:2
- 2018年
- 为提高熔石英光学元件磨削加工质量,降低亚表面缺陷层深度,通过实验和理论分析发现,具有平直截面轮廓的平行金刚石砂轮,在加工熔石英光学元件时砂轮边缘位置处会产生加工应力集中,该应力集中直接导致了元件表面产生"连续白线"状深缺陷,其深度达22μm。为抑制砂轮边缘位置加工应力集中现象,设计了"中央平直线+两侧边缘圆弧过渡"的复合式截面轮廓,并提出了相应的修整方法。通过砂轮修整实验,验证了该方法的可行性,磨削元件"连续白线"状深缺陷得到明显改善,亚表面缺陷深度小于2.5μm,实现熔石英元件的低缺陷磨削加工。
- 周炼谢瑞清陈贤华刘民才王健
- 关键词:金刚石砂轮超精密磨削
- 小口径光学元件的装夹装置及其方法
- 本发明提供一种稳定性好的小口径光学元件的装夹装置及其方法。小口径光学元件的装夹装置,包括基板、陶瓷环、之形连接板、挡块、调节螺钉、陪抛片和分离器,所述陪抛片的数量与元件的侧面数量相匹配;所述挡块的数量与所述陪抛片的数量一...
- 赵世杰王诗原廖德锋谢瑞清周炼汤鹏田亮陈贤华王健
- 文献传递
- 抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置及测量方法
- 本发明涉及全口径抛光中抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置,包括固定于抛光机床横梁顶部的控制器;与控制器通信连接的显示终端;固定于横梁上的加载力执行器,且与控制器电性连接;测试板,其为圆形板;其顶部与加载力执行器铰接,其...
- 廖德锋谢瑞清赵世杰孙荣康周炼陈贤华张飞虎张清华王健许乔
- 环抛机胶盘面形状的检测方法
- 本发明公开了一种环抛机胶盘面形状的检测方法,该方法包括以下步骤:1)检测直线导轨的直线度和绝对倾斜度误差;2)检测胶盘旋转轴在导轨平面内的绝对倾斜度;3)计算导轨的综合误差;4)检测胶盘面的端跳并标定胶盘面角度;5)检测...
- 廖德锋陈贤华谢瑞清赵世杰王健许乔
- 一种固结磨具硬度检测装置及其检测方法
- 本发明涉及一种固结磨具硬度检测装置,包括:基座,基座上具有贯穿的操作空间;基座底部远离操作空间的位置安装有可升降高度支腿;水平推动机构,水平推动机构安装于基座顶部,且不覆盖操作空间;下压推动机构,下压推动机构竖直布置,可...
- 周炼郑楠韦前才陈贤华谢瑞清廖德锋赵世杰李洁张清华王健许乔
- 文献传递
- 大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法
- 本发明提供一种环形抛光中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法。大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法,采用中间带有探针的直线度表桥沿修正盘半径方向分段检测各子段的直线度,然后通过数据处理获得整个半径方向的直线度。本发明针对...
- 廖德锋谢瑞清陈贤华赵世杰王健许乔
- 大口径平面快速抛光机床误差模型研究被引量:1
- 2015年
- 介绍了大口径平面光学元件快速抛光机床的加工原理,分析了全口径抛光工艺中抛光模与工件之间的精度传递关系,并推导了修整器几何参数对抛光模修整精度及元件加工面形精度的影响规律。对大口径平面快速抛光机床的各项几何误差源进行了分析,并基于多体系统理论,建立了机床修整轴综合空间姿态误差的理论计算模型,详细阐述了机床误差建模过程。
- 谢瑞清王健陈贤华廖德锋赵世杰
- 关键词:光学元件抛光面形精度机床误差
- 高功率激光光学元件超精密制造技术被引量:2
- 2022年
- 用于惯性约束聚变的高功率固体激光装置需使用上万件大口径光学元件,激光装置极端的设计性能对光学元件提出了全空间频段(空间频率范围为μm^(-1)级至m^(-1)级)精度指标和高抗激光损伤的制造要求,形成确定性、高性能的强激光光学元件制造能力是制造激光装置的基础。总结了近年来大口径高功率激光光学元件超精密制造技术及装备方面的研究进展,重点介绍了超精密磨削成形技术、保形快速抛光技术、确定性抛光技术、晶体超精密切削技术及低缺陷制造技术,并分析了高功率激光光学元件制造的未来发展趋势。
- 许乔陈贤华汪圣飞钟波谢瑞清王健
- 关键词:高功率激光
- 环抛中抛光液的循环供液装置及供液方法
- 本发明涉及环抛中抛光液的循环供液装置和供液方法,装置包括供液器;供液管路,其与供液器可转换连通或截止,且其固定于环抛机的多工位桥架上;多个喷嘴,按照预设间距布置于供液管路上,且与供液管路可转换连通或截止;其中预设间距指根...
- 廖德锋王乙任谢瑞清赵世杰周炼陈贤华张飞虎张清华王健许乔
- 文献传递