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郭小明

作品数：14 被引量：64H指数：4
供职机构：清华大学电机工程与应用电子技术系更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域：电气工程电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇期刊文章
  • 2篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇电气工程
  • 4篇电子电信
  • 4篇理学
  • 2篇机械工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 8篇等离子体
  • 3篇等离子体装置
  • 3篇电压
  • 3篇辉光
  • 3篇辉光放电
  • 3篇光刻
  • 2篇等离子
  • 2篇电光
  • 2篇电光效应
  • 2篇微细
  • 2篇微细加工
  • 2篇脉冲等离子体
  • 2篇脉冲电压
  • 2篇解析式
  • 2篇放电等离子体
  • 2篇感器
  • 2篇Z箍缩
  • 2篇LIGA
  • 2篇传感
  • 2篇传感器

机构

  • 14篇清华大学
  • 1篇国家自然科学...

作者

  • 14篇郭小明
  • 10篇罗承沐
  • 4篇张贵新
  • 3篇周兆英
  • 2篇苏进喜
  • 1篇白秀庭
  • 1篇王幽林
  • 1篇叶雄英
  • 1篇马仙云
  • 1篇李成榕
  • 1篇赵会良
  • 1篇吴维韩

传媒

  • 2篇清华大学学报...
  • 2篇高电压技术
  • 2篇电工电能新技...
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇中国科学（A...
  • 1篇核聚变与等离...
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇全国纳米科学...

年份

  • 1篇1998
  • 1篇1997
  • 5篇1996
  • 4篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1992
  • 1篇1989
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
等离子体软x射线源及其用于微细加工的探讨被引量：2
1995年
喷气式Ｚ箍缩等离子体装置可产生较强的脉冲软ｘ射线，利用此ｘ射线进行了初步曝光实验。另外，本文对此装置用于微细加工从理论上进行了初步探讨。
郭小明罗承沐周兆英叶雄英李成榕
关键词：等离子体软X线光刻微细加工
多级多弧道开关中电子束电离气体的研究
郭小明
反电晕及其抑制措施被引量：21
1995年
对电除尘器（ESP）中的反电晕研究现状进行了总结分析，对ESP中的反电晕现象、反电晕的发生发展过程、反电晕对ESP工作的影响以及抑制反电晕的措施进行了较为全面的讨论．结果认为：应加强对反电晕问题的研究，发展简单、可靠、造价低和使用方便的抑制措施，以改善ESP的工作性能，提高降尘效率，促进ESP在处理高比电阻方面的应用推广。
赵会良吴维韩罗承沐郭小明王幽林
关键词：电除尘器反电晕高比电阻
LIGA加工及喷气式Z箍缩脉冲等离子体软X射线源被引量：1
1995年
ＬＩＧＡ加工中关键技术之一是深度Ｘ射线光刻，它需要性能优越的Ｘ射线源，现在普遍使用的是同步辐射加速器，但其造价十分昂贵，运行也十分复杂。本文试图利用结构简单、运行方便、效率较高和造价很低的喷气式Ｚ箍缩脉冲等离子体软Ｘ射线源，进行ＬＩＧＡ加工的探讨，由于此Ｘ射线源为点源而非平行光，而且强度也相对较小，所以本文对点源Ｘ射线在曝光中的影响作了估计，同时对一定深度光刻所需放电次数进行了计算。结果表明：当Ｘ射线源离掩膜距离合适、抗蚀剂灵敏度较高时，进行几十微米深的光刻是可能的。
郭小明罗承沐周兆英
关键词：脉冲等离子体Z箍缩同步辐射加速器等离子体装置光子能量LIGA
利用LiNbO＿3晶体电光效应测量脉冲电压被引量：16
1995年
本文介绍利用ＬｉＮｂＯ＿３晶体的线性电光效应做成的电压、电场传感器；并利用汞润开关产生脉冲电压波。实验结果表明此传感器对测量波尾较短的脉冲电压是可行的，幅值测量线性度在３％以内。
郭小明罗承沐张贵新马仙云
关键词：电压电场传感器电光效应脉冲电压
辉光放电等离子体的理论和实验研究
郭小明
喷气式Z箍缩等离子体装置中离子束能谱的测量被引量：1
1996年
利用新研制的紧凑型汤姆生离子能谱仪（ＴｈｏｍｓｏｎＩｏｎＥｎｅｒｇｙＡｎａｌｙｚｅｒ），对喷气式Ｚ－箍缩等离子体装置中离子能谱进行了测量，在ＣＲ－３９上得到了清晰的Ａｒ＋，Ａｒ２＋，Ａｒ３＋离子抛物线轨迹，通过分析计算结果表明：离子的最大能量在１ＭｅＶ左右，离子能谱分布曲线都随其能量增加而单调下降。
郭小明罗承沐
关键词：能谱仪Z箍缩等离子体
解析式直流辉光放电等离子体理论模型的改进
1996年
对作者前期建立的自洽、解析式直流辉光放电等离子体理论模型进行了改进。考虑到电子能量分布，认为电子碰撞电离速率系数ｆ取决于电子的迁移速度ＶＥ和扩散速度ＶＤ，而不象以前假设电离速率系数ｆ为一常数。另外，不再将形式为（Ｃ１ｃｏｓｍｚ＋Ｃ２ｓｉｎｍｚ）的通解简化为形式为Ｃ（ｃｏｓｍｚ＋ｓｉｎｍｚ）的特解，改进后的理论模型仍为自洽的解析式理论模型，它的适用范围更广，与实验结果更为接近。
郭小明PaiSiuting
关键词：辉光放电解析式等离子体
脉冲软X射线源及光刻的初步研究被引量：3
1996年
喷气式Ｚ箍缩等离子体装置产生的软Ｘ射线，波长大约在０．２～０．６ｕｍ之间，一次放电产生的软Ｘ射线能量约５０Ｊ。本文利用此软Ｘ射线源，用金属丝网作为掩模，对ＣＳＭ光刻胶进行了曝光的初步实验研究，得到了较为清晰的曝光图形。
郭小明罗承沐周兆英
关键词：光刻微细加工半导体器件
纳秒级脉冲电压的电光测量被引量：10
1997年
为避免强电磁脉冲ＥＭＰ（ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃｐｕｌｓｅ）的瞬间电场对军用和民用设施产生很大的破坏，准确测量ＥＭＰ的高速变化的电场，从而利用铌酸锂（ＬｉＮｂＯ３）晶体的电光效应，采用横向运行方式，研制成电压、电场传感器。以理论分析和计算作定性估计，指导调整光学器件；巧妙利用机械加工的精确度保证传感器上光学器件的相对定位和准直；用实验调整进行定量研究。利用纳秒脉冲电压发生器（ＭＦＤ－１）产生的方波电压，对此传感器性能进行了测试，测试结果表明：传感器上升时间小于５ｎｓ（波形有一点过冲）和７ｎｓ（波形无过冲）；测量误差在５％左右。
郭小明苏进喜罗承沐张贵新
关键词：铌酸锂脉冲电压纳秒级电光测量
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