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顾雅华

作品数：1 被引量：11H指数：1
供职机构：北京师范大学核科学与技术学院低能核物理研究所更多>>
发文基金：北京市科技新星计划更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇氮化硅
  • 1篇氮化硅薄膜
  • 1篇等离子增强化...
  • 1篇电池
  • 1篇太阳电池
  • 1篇退火
  • 1篇退火过程
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇硅薄膜

机构

  • 1篇北京师范大学
  • 1篇北京太阳能研...

作者

  • 1篇周宏余
  • 1篇顾雅华
  • 1篇王文静
  • 1篇许颖
  • 1篇叶小琴
  • 1篇李艳

传媒

  • 1篇北京师范大学...

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
PECVD沉积氮化硅薄膜在退火过程中的特性变化及在太阳电池中的应用被引量：11
2004年
采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) ,在单晶硅衬底上生长氮化硅 (SiN)薄膜 ,再对薄膜进行快速热退火处理 ,研究了在不同温度下SiN薄膜的退火特性 .通过椭圆偏振光仪测量了薄膜厚度和薄膜的折射率 ,发现退火后薄膜的厚度下降 ,折射率升高 ;采用准稳态光电导衰减QSSPCD测少数载流子寿命 ,发现少子寿命有很大程度的下降 .还研究了SiN薄膜对多晶硅电池性能的影响 。
叶小琴许颖李艳顾雅华周宏余王文静
关键词：氮化硅薄膜等离子增强化学气相沉积太阳电池
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