戴俊钊
- 作品数:11 被引量:19H指数:3
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术航空宇航科学技术机械工程更多>>
- 适用于高精度边缘检测的多维亚象元细分算法
- 本文从一维细分算法的局限性出发,提出了适用复杂图像边缘高精度检测的多维亚象元细分思想,并初步探讨了一种新颖的融合方向性和相关性二维信息的细分算法——方向性相关加权算法,重点阐述了算法的基本原理和实现步骤.仿真结果表明:本...
- 冷何英戴俊钊段海峰杨洪
- 关键词:相关系数峰值信噪比图像测量
- 文献传递
- 实用型亚像元定位方法的研究被引量:8
- 2000年
- 针对重复曝光离线对准系统 ,提出一种实用型亚像元定位方法———自适应加权拟合细分算法 (AWS) ,详细分析了算法的理论基础和基本原理 ,利用投影平均来提高信噪比 ,一维尺寸对比度滤波器单调分区 ,自动加权突出关键点 ,重建拟合曲线。仿真和硬件平台实验均表明 :该算法具有较高的重复定位精度和实时处理能力。
- 冷何英戴俊钊
- 关键词:滤波器
- 粒子测量方法及其粒子探测传感器
- 粒子自动测量方法及其粒子探测传感器,适用于对液体中固体粒子的自动测量,本发明采用长狭缝液体通管,使整个液体通道截面增大,解决了大粒子堵塞液体通道的问题。采用带电子快门的面阵CCD摄像机,用电视图象测量法测量粒子的大小,具...
- 戴俊钊
- 文献传递
- 提高大视场图像测量精度的CCD光学拼接技术
- 本文介绍了提高大视场图像测量精度的途径,比较了CCD光学拼接方法.具体叙述了二次分光式CCD光学拼接装置的结构原理,采取的技术措施.最后,给出了检测结果与应用前景.
- 戴俊钊杨洪
- 关键词:大视场图像测量
- 文献传递
- 离线对准系统
- 李声戴俊钊牟家均冯常唐岚林妩媚冷何英周国忠李恩德于红岗胡其华杨洪田杨超
- 该项目由中科院光电技术研究所为中国科大国家同步辐射实验室研制的,用于国家同步辐射实验室二期工程LIGA站X射线光刻制作微电子机械系统的关键光刻设备。本系统对准流程是以硅片为基准,硅片固定于刚体上不动;调节目视及电视测量运...
- 关键词:
- 关键词:离线
- 粒子测量方法及其粒子探测传感器
- 粒子自动测量方法及其粒子探测传感器,适用于对液体中固体粒子的自动测量。本发明采用长狭缝液体通管,使整个液体通道截面增大,解决了大粒子堵塞液体通道的问题。采用带电子快门的面阵CCD摄像机,用电视图象测量法测量粒子的大小,具...
- 戴俊钊
- 文献传递
- 1.5-2微米实用型分步重复投影光刻机
- 吴濯才刘业异姚汉民谢传钵戴俊钊
- 分步重复投影光刻机是集成电路微细加工的关键设备,是发展我国微电子技术必须唯一采用的换代设备,它的大量使用是关系到我国微电子技术能否走出长期以来只能生产三微米线宽器件的落后状态。1.5--2微米实用型直接分步重复投影光刻机...
- 关键词:
- 关键词:投影光刻机
- 大视场多目标高帧电视测量技术研究
- 本文介绍了大视场多目标高帧频电视测量技术的指标要求,研制系统的组成与工作原理,概述了采取的主要技术措施,最后,给出了交付使用后的试验结果与应用前景.
- 戴俊钊杨洪
- 关键词:电视测量高帧频导弹
- 文献传递
- 高精细数字会聚校正系统
- 1992年
- 数字会聚校正使1%的会聚精度提高到0.1%以上。本文叙述了数字会聚校正系统的设计要求,工作原理以及设计计算,给出了在投影电视上的试验结果,最后,指出了今后发展的方向。
- 戴俊钊
- 关键词:高清晰度电视投影机
- 目标识别新算法的研究与应用被引量:7
- 2001年
- 文中提出一种新的目标识别算法———形状尺寸对比度滤波器算法 ,它是在尺寸对比度滤波器的基础上 ,加上目标形状特征 ,克服了原单一回形结构算法的局限性 ,使算法可准确地识别具有特定形状和尺寸的目标。针对硅片对准八字标记 ,介绍了算法的基本原理和结构参数设计。通过对算法的分析及工程实际应用 ,有效地验证了该算法识别目标的正确性 ,并证实其特点。
- 戴俊钊冷何英
- 关键词:对比度目标识别滤波器