曹焕丽
- 作品数：5 被引量：5H指数：2
- 供职机构：华东师范大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学环境科学与工程更多>>
- 小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究被引量：2
- 2009年
- 本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.
- 廖斌周蓓曹焕丽朱守正
- 关键词：谐振特性气体放电S参数
- 小功率平面微带螺旋电感耦合微波等离子体源的研究
- 射频/微波电感耦合等离子体自上世纪九十年代初出现以来，以其突出的优点和优越的性能受到越来越多的关注和研究，但是由于射频/微波电感耦合等离子体技术发展比较晚，目前还没有成熟的理论和计算设计方法。随着现代科技和MEMS工艺的...
- 曹焕丽
- 关键词：等离子体源品质因数匝数电感耦合
- 文献传递
- 小功率微波等离子体源
- 一种小功率微波等离子体源，属微波等离子体源的技术领域。该等离子体源，需与微波源联用，含接地平面、基片、馈电同轴、平面微带螺旋电感线圈、过渡微带线、调谐电容和调配电容，平面微带螺旋电感线圈、过渡微带线、调谐电容和调配电容的...
- 廖斌周蓓曹焕丽朱守正
- 文献传递
- 2.45GHz平面微带螺旋电感微波等离子体源的建模研究
- 本文利用平面微带螺旋电感的等效电路对2．45GHz频率进行建模分析,并在此基础上对其模型进行优化设计,以期得到更高的品质因数Q值,这种电感主要用作低压小功率微波等离子体源。研究表明,影响电感品质因数的参数有电感线圈的匝数...
- 曹焕丽廖斌朱守正
- 关键词：品质因数Q微波等离子体
- 文献传递
- 平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析被引量：1
- 2007年
- 介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法。根据等效电路,推导出平面螺旋电感线圈的品质因数,并进行数值分析。研究表明:无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化,并在谐振频率附近达到最大值。这为小功率电感耦合微波等离子体源的优化设计提供了理论依据。
- 廖斌曹焕丽朱守正
- 关键词：品质因数
