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机构

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  • 3篇苏州大学
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作者

  • 18篇王文襄
  • 5篇张轩雄
  • 4篇赵玉龙
  • 4篇赵立波
  • 4篇蒋庄德
  • 4篇陆德仁
  • 3篇朱作云
  • 2篇丁建宁
  • 2篇高建忠
  • 2篇刘秀娥
  • 2篇杨根庆
  • 2篇扬根庆
  • 2篇王权
  • 1篇周建发
  • 1篇白光辉
  • 1篇李跃进
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  • 1篇王建军
  • 1篇陈俊刚
  • 1篇徐静波

传媒

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年份

  • 3篇2010
  • 1篇2006
  • 3篇2005
  • 1篇2004
  • 2篇2003
  • 1篇2002
  • 2篇2000
  • 1篇1999
  • 4篇1998
18 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发
蒋庄德赵玉龙赵立波高建忠王文襄刘秀娥
该项目属微机械、仪器仪表与传感器等多学科交叉领域。针对航空航天、石油化工、军工等领域高温、高过载等恶劣环境下的压力测量难题,开展了耐高温压力传感器设计、制造等关键技术研究,主要内容如下:研究了耐高温压力传感器敏感元件的结...
关键词:
关键词:压力传感器耐高温敏感元件
绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法
本发明涉及绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法,这种传感器又称为SOI硅高温超高压力传感器,属于电子信息领域,本发明提供的方法最关键的点采用SOI技术解决敏感元件和弹性元件的高温电隔离,以硅和耐热玻璃环的静电键合为边...
张轩雄陆德仁王文襄扬根庆
文献传递
固态SOI微型压力传感器研究
采用高能氧离子注入SIMOX(Separation by Implanted Oxygen)制作固态压阻式传感器芯片的介质隔离层。应用硅玻键合封结技术,实现微型压力传感器芯片的无应力封装。对其测量结果表明,制作的传感器芯...
赵玉龙赵立波蒋庄德王文襄
关键词:SOI压力传感器耐高温
文献传递
SOI硅微固态传感器关键技术研究及系列产品开发
蒋庄德赵玉龙赵立波王文襄高建忠陈俊刚徐静波周建发刘秀娥林晓迟王建军白光辉
在国家863项目组及省、市科技部门的支持下,我校针对特种领域对高温压力测试的迫切需求,采用基于SOI(硅隔离)技术的固态浮雕式压阻力敏芯片和新型的硅杯、梁膜结构,使SOI耐高温压力传感器可用于高温及高频等恶劣条件下的压力...
关键词:
关键词:SOI传感器
微型压力传感器及其组成的微创椎体灌注压测定系统
一种由微型压力传感器组成的微创椎体灌注压测定系统,包括微型压力传感器、推管、位于推管内滑动的中空推杆、信号放大调理电路和数据采集显示仪,微型压力传感器由封装管及设于封装管内硅敏感组件、绝缘陶瓷棒和引出电缆组成,硅敏感组件...
杨惠林孟斌王文襄王冰丰金妹陈亮唐天驷
文献传递
一种硅芯片外引线键合的热压焊简易装置
2005年
为满足压阻式压力传感器封装工艺中硅芯片外引线键合的要求,研制了热压焊简易装置;研究了金铝压焊处金属间化合物扩散深度随温度增长关系.键合试验中,调节压焊控制台电压使衬底温度保持在150~200℃,压焊头辟刀温度保持在150℃左右,保证了压焊点接触的可靠性.实践表明,该装置容易操作,适合于大批量生产,具有一定的经济效益.
王权丁建宁王文襄
关键词:压阻式压力传感器引线键合金丝
耐高温智能压力检测仪研究
式压力检测装置无法满足在高温、高压和振动冲击等恶劣环境下压力检测的使用要求;采用了耐高温压阻式压力传感器作为压力枪测器件取代机械压力表,用SIMOX(separation by implanted oxygen)技术的S...
王权丁建宁葛树群王文襄
关键词:SIMOX压阻式压力传感器放大电路
绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法
本发明涉及绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法,这种传感器又称为S01硅高温超高压力传感器,属于电子信息领域,本发明提供的方法最关键的点采用S01技术解决敏感元件和弹性元件的高温电隔离,以硅和耐热玻璃环的静电键合为边...
张轩雄陆德仁王文襄扬根庆
文献传递
高温压力传感器芯片的制作方法
一种高温压力传感器芯片的制作方法,最为关键的工艺是将带有单晶碳化硅外延层的硅片与外层被氧化的硅片用浓硫酸清洗,去离子水冲洗,然后将其中硅片的碳化硅面与另一硅片的氧化硅面进行键合,再将其放入氢氧化钾溶液中腐蚀,去除碳化硅外...
张轩雄陆德仁王文襄杨根庆
文献传递
呼吸机微型呼吸压力传感器的研制及应用
1998年
该微型呼吸压力传感器采用EI型梁膜结构的弹性敏感元件。应用在便携式呼吸机上,使呼吸机具备了多种供气方式、自动同步呼吸和自动监测报警等功能。
李华军王文襄王常有郑建忠王麦广刘秀娥
关键词:呼吸机
共2页<12>
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